[發明專利]一種光刻膠防止更換出錯并安全運輸保護瓶

在審

• 申請號: 201611140885.0
• 申請日: 2016-12-12
• 公開（公告）號: CN108216908A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 孔祥華
• 申請（專利權）人: 天津弘宇科技有限公司
• 主分類號: B65D55/14
• 分類號: B65D55/14;B65D51/24;B65D77/04
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 吳學穎

本發明公開了一種光刻膠防止更換出錯并安全運輸保護瓶，包括玻璃瓶，所述玻璃瓶外設置有防護瓶，所述防護瓶包括由上至下依次連接的頂蓋、上蓋和底瓶，所述上蓋的頂部端口固定設置有防換錯安全環，所述防換錯安全環內圓設置有止脫齒，所述防換錯安全環外圓設置有定位半環，所述防換錯安全環上表面沿圓周均勻設置有密匙碼。本發明在保留傳統光刻膠棕色玻璃瓶優點及同時，可以滿足安全運輸的要求，即使運輸過程中發生玻璃瓶破損事故，也不會造成大范圍的環境污染，還可以很好地防止操作人員由于操作不慎造成重大質量事故，適用于化學品的更換使用。

技術領域

本發明涉及一種包裝瓶，更具體的說，是涉及一種光刻膠防止更換出錯并安全運輸保護瓶。

背景技術

在大規模集成電路晶圓制造工藝流程中，光刻工藝居于整個制造的中心地位。尤其目前進入亞微米，納米工藝范疇內，光刻工藝更是推動者整個行業沿著摩爾定律向前發展。在光刻工藝內，光刻膠的使用是非常重要的一環。在大型晶圓廠內，有幾十種不同應用的光刻膠在生產線上同時使用，每瓶光刻膠的容量只有1加侖(3.75升)，所以用完后需要經常更換。而不同應用的光刻膠嚴禁相互污染，混用，否則會造成重大質量安全生產事故影響晶圓的良率。由于光刻膠包裝容器通常為容量為1加侖的棕色玻璃瓶，外觀極為相似，稍有疏忽不慎便出現換錯，造成不可挽回的重大損失。

現有的光刻膠包裝通常為:1加侖(3.75升)裝的棕色透明玻璃瓶和4升裝的Nowpack塑膠瓶(美商英特格公司產品)。主流包裝為1加侖(3.75升)裝的棕色透明玻璃瓶，玻璃瓶運輸時已碎的弱點以及沒有有效的防止換錯裝置一直是該包裝被詬病之處。少量廠家使用Nowpack塑膠瓶，由于Nowpack塑膠瓶的內膽含有歐盟環境指令PFOS/PFOA明令禁止的成分，雖然經歐盟環境指令PFOS/PFOA要求升級，之后發生潛在質量風險，會造成客戶端的損失，尤其是對于高端光阻風險更甚。已經被主流廠商棄用。

發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種光刻膠防止更換出錯并安全運輸保護瓶，在保留傳統光刻膠棕色玻璃瓶優點及同時，可以滿足安全運輸的要求，即使運輸過程中發生玻璃瓶破損事故，也不會造成大范圍的環境污染，還可以很好地防止操作人員由于操作不慎造成重大質量事故。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的。

本發明的一種光刻膠防止更換出錯并安全運輸保護瓶，包括玻璃瓶，所述玻璃瓶外設置有防護瓶，所述防護瓶包括由上至下依次連接的頂蓋、上蓋和底瓶，所述上蓋的頂部端口固定設置有防換錯安全環，所述防換錯安全環內圓設置有止脫齒，所述防換錯安全環外圓設置有定位半環，所述防換錯安全環上表面沿圓周均勻設置有密匙碼。

所述上蓋設置有提手。

所述上蓋和底瓶通過鎖緊箍進行連接。

所述頂蓋沿圓周設置有易拉帶。

所述底瓶和上蓋采用全透明耐沖擊聚碳酸酯或非結晶型共聚聚酯，所述頂蓋采用聚乙烯塑膠。

所述密匙碼由數字或字母構成，每一種光刻膠對應一組密匙，每組密匙由三位或三位以上的密匙碼構成，在每組密匙對應的密匙碼處分別開設通孔。

與現有技術相比，本發明的技術方案所帶來的有益效果是：

(1)本發明中，玻璃瓶外設置了防護瓶，把玻璃瓶完全包覆于內，整體密閉防止漏液，可以滿足安全運輸的要求，即使運輸過程中發生玻璃瓶破損事故，不會造成大范圍的環境污染，防止光刻膠在晶圓廠內運輸使用過程中玻璃瓶破損造成Fab潔凈環境污染破壞；

(2)本發明中，上蓋頂部端口設置了防換錯安全環，每一種光刻膠分配不同且唯一的密匙，可以防止保證光刻膠不混用，不同種類的光刻膠由于密匙不匹配，不能安裝成功，只有同一種光刻膠才能符合密匙成功連接，防止晶圓廠內更換光刻膠時操作員誤操作致光刻膠混用，避免工廠端的重大損失；