[發(fā)明專利]一種等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611139512.1
• 申請日: 2016-12-12
• 公開（公告）號: CN108227082A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李芳
• 申請（專利權(quán)）人: 李芳
• 主分類號: G02B6/35
• 分類號: G02B6/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)，其特征在于：不銹鋼導(dǎo)管通過密封圈、密封壓環(huán)、密封螺母連接；所述不銹鋼導(dǎo)管與銅網(wǎng)圓片連接，所述密封壓環(huán)分別設(shè)置在密封圈的外部，所述密封螺母固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的左端外殼和密封壓環(huán)上，密封螺母所述固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的右端外殼和密封壓環(huán)上。本發(fā)明體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，成本低廉，耐用度高，能有效中和高電導(dǎo)率等離子體、阻斷高壓脈沖的對地泄漏電流，有效保護操作人員及真空機組的安全。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體電極技術(shù)領(lǐng)域，特涉及一種等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前，采用動態(tài)平衡的方式保持腔內(nèi)的氣壓，由于要求工作氣壓很低，高壓帶電等離子體很容易被抽進真空泵，導(dǎo)致電流泄漏，兩端電壓降低，并容易打壞真空泵，造成傷亡和損壞。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低、安裝方便的等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)，其特征在于：不銹鋼導(dǎo)管通過密封圈、密封壓環(huán)、密封螺母連接；所述不銹鋼導(dǎo)管與銅網(wǎng)圓片連接，所述密封壓環(huán)分別設(shè)置在密封圈的外部，所述密封螺母固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的左端外殼和密封壓環(huán)上，密封螺母所述固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的右端外殼和密封壓環(huán)上。

本發(fā)明的優(yōu)點：

本發(fā)明體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，成本低廉，耐用度高，能有效中和高電導(dǎo)率等離子體、阻斷高壓脈沖的對地泄漏電流，有效保護操作人員及真空機組的安全。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

圖1為等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種等離子體電極光開關(guān)結(jié)構(gòu)，其特征在于：不銹鋼導(dǎo)管通過密封圈、密封壓環(huán)、密封螺母連接；所述不銹鋼導(dǎo)管與銅網(wǎng)圓片連接，所述密封壓環(huán)分別設(shè)置在密封圈的外部，所述密封螺母固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的左端外殼和密封壓環(huán)上，密封螺母所述固定設(shè)置在不銹鋼導(dǎo)管的右端外殼和密封壓環(huán)上。

最后應(yīng)當(dāng)說明的是，以上實施例僅用于說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對本發(fā)明保護范圍的限制，盡管參照較佳實施例對本發(fā)明作了詳細說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實質(zhì)和范圍。