[發明專利]一種高精度OLED器件的制備裝置及制備方法在審
| 申請號: | 201611137869.6 | 申請日: | 2016-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN106435483A | 公開(公告)日: | 2017-02-22 |
| 發明(設計)人: | 葉蕓;郭太良;嚴群;張永愛;呂珊紅;徐中煒 | 申請(專利權)人: | 福州大學 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司: | 福州元創專利商標代理有限公司35100 | 代理人: | 蔡學俊;丘鴻超 |
| 地址: | 350002 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高精度 oled 器件 制備 裝置 方法 | ||
【權利要求書】:
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