[發明專利]一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法

有效

• 申請號: 201611137812.6
• 申請日: 2016-12-12
• 公開（公告）號: CN106601933B
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 孫洪波;馮晶;銀達
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/48
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責任公司22201
• 代理人: 劉世純

1.一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

(1)、制備表面具有條形微結構的滾輪；

(2)、采用真空蒸鍍方法制備表面具有金屬間隔層的彈性薄膜；

(3)、柔性薄膜電子器件的制備；

(4)、具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備；

將步驟(2)中制備的具有金屬間隔層的彈性薄膜拉伸到50％-500％應變量，并保持拉伸狀態，然后用步驟(1)中制備的表面具有條形微結構的滾輪將步驟(3)制備得到的柔性薄膜電子器件粘貼在彈性薄膜表面，使柔性薄膜電子器件的柔性襯底與彈性薄膜接觸，其中，柔性薄膜電子器件上受到滾輪條形結構壓力的部分可以與彈性薄膜粘合，而柔性薄膜電子器件上沒有受到滾輪條形結構壓力的部分不會與彈性薄膜粘合，最后釋放拉力，彈性薄膜收縮，收縮力使柔性薄膜電子器件上沒有與彈性薄膜粘合的部分發生彎曲，并向上拱起，從而完成具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備。

2.如權利 要求1所述的一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于：步驟(1)中所述的滾輪的材料為聚四氟乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亞胺等塑料或不銹鋼、銅、鋁等金屬。

3.如權利 要求1所述的一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于：步驟(1)中所述滾輪的直徑為5mm～500mm，滾輪的長度為1cm～100cm；條形微結構的寬度為100um～2000um，條形微結構的間距為100um～3000um，條形微結構的深度為50um～1000um。

4.如權利 要求1所述的一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于：步驟(1)中所述制備表面具有條形微結構的滾輪采用車床加工、3D打印或注塑。

5.如權利 要求1所述的一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于：步驟(2)中所述的彈性薄膜為聚二甲基硅氧烷、聚氨酯丙烯酸酯或共聚酯，彈性薄膜的厚度為0.5mm-2mm；所述的金屬間隔層為金、銀、銅、鋁或鐵，金屬間隔層的厚度為10nm-2000nm。

6.如權利要求1所述的一種具有規則褶皺結構的可拉伸電子器件的制備方法，其特征在于：步驟(3)中所述的柔性薄膜電子器件的制備包括真空蒸鍍、旋涂、化學氣相沉積或分子束外延過程，所述的器件可以是發光器件、太陽能電池、晶體管、集成電路或傳感器；柔性薄膜電子器件的柔性襯底為Norland Optical Adhesive(NOA)系列、Nano MicroChem Company epoxy negative resin(SU-8)系列、聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯。