[發(fā)明專利]一種多晶硅的提純方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611137128.8
• 申請(qǐng)日: 2016-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN106587070B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉振東;李現(xiàn)常;翟亞芳;劉照亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安陽工學(xué)院
• 主分類號(hào): C01B33/037
• 分類號(hào): C01B33/037
• 代理公司: 鄭州立格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41126
• 代理人: 王暉

1.一種多晶硅的提純方法，其特征在于包括以下步驟：

A：將原料多晶硅研磨至粒度為36-260μm；

B：將研磨后的多晶硅在氬氣保護(hù)下以5℃/min的速度從室溫煅燒至1050±5℃,保持0.5h；再以1℃/min速度繼續(xù)加熱至1250±5℃，保持0.5h，加熱的同時(shí)不斷抽氣，煅燒溫度至650±45℃至?xí)r向煅燒爐內(nèi)滴入甲醇，滴入甲醇的速度為每100g多晶硅滴加量為50滴/min，直至煅燒結(jié)束，然后將硅在冷水中快速淬火至室溫，金屬硅表面出現(xiàn)炸紋；

C：將淬火后的多晶硅在酸洗液中酸洗，酸洗工藝為：

C1：酸洗液配制，按照摩爾比氫氟酸8-10份：硝酸8-10份：去離子水70-75份配制酸洗液；

C2：將淬火后的多晶硅投入酸洗液中酸洗2-2.5小時(shí)，投入多晶硅的質(zhì)量為酸洗液質(zhì)量的3.5-7%酸洗液溫度50℃-75℃，磁子攪拌速度為1500r/min；

C3：加入絡(luò)合劑酸洗，在步驟C2完成后，在多晶硅和酸洗液的混合體系中加入絡(luò)合劑，加入絡(luò)合劑的摩爾數(shù)為氫氟酸摩爾數(shù)的0.4-0.6倍； 所述的絡(luò)合劑為山梨醇或衛(wèi)茅醇或甘露醇或β-D呋喃果糖；繼續(xù)酸洗3-5h，然后過濾多晶硅，再用去離子水沖洗至中性，得提純后的多晶硅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的提純方法，其特征在于：步驟B中的冷水采用0℃的冰水混合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅的提純方法，其特征在于：所述酸洗液采用以下摩爾比的物質(zhì)配制而成：氫氟酸10份，硝酸9份，去離子水73份。