[發明專利]基于非對稱金屬包覆介質波導的多層亞波長結構刻寫裝置有效
| 申請號： | 201611137026.6 | 申請日： | 2016-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN106483774B | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發明（設計）人： | 王向賢;王茹;陳宜臻;張東陽;龐志遠;楊華 | 申請（專利權）人： | 蘭州理工大學 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人： | 楊學明;顧煒 |
| 地址： | 730050 甘肅*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 對稱 金屬 介質波導 多層 波長 結構 刻寫 裝置 | ||
【說明書】：
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