[發明專利]光刻投影物鏡控制裝置

在審

• 申請號: 201611133636.9
• 申請日: 2016-12-10
• 公開（公告）號: CN108227388A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 郭嘉亮;李佩玥;葛川;李朋志;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

本發明公開了一種光刻投影物鏡控制裝置。所述光刻投影物鏡控制裝置包括上位機、工控機箱、驅動控制箱、壓電驅動器和電容傳感器：所述工控機箱包括主控單板計算機、多路光纖從板和VPX總線背板，所述主控單板計算機上設置有光刻投影物鏡控制器；所述驅動控制箱包括高壓驅動板和信號采集板；所述光刻投影物鏡控制器在接收到物鏡功能性調節控制指令后，對所述物鏡功能性調節控制指令進行閉環運動控制運算處理并打包后將控制指令發送至多路光纖從板；所述多路光纖從板將所述控制指令發送至高壓驅動板，所述高壓驅動板對所述控制指令做出數/模轉換之后完成對壓電驅動器的驅動控制。本發明提供的光刻投影物鏡控制裝置能對個功能性調節機構進行集中控制。

技術領域

本發明屬于光刻投影物鏡控制領域，具體涉及一種光刻投影物鏡控制裝置。

背景技術

光刻投影物鏡是光刻機中重要的超精密光學系統，在光刻機工作過程中，隨著曝光時間的積累，光刻投影物鏡會因激光熱輻射效應的積累而產生熱像差。如果不加以補償，熱像差會直接劣化套刻精度，功能性調節機構是光刻投影物鏡中用來補償熱像差的主要方法。

現有技術無法對多個功能性調節機構進行集中控制，而在實際工作中，光刻投影物鏡往往需要多個功能性調節機構同時配合工作，因此，實現一種可以對多個功能性調節機構進行集中控制的裝置顯得尤為重要。

發明內容

本發明旨在克服現有技術存在的缺陷，本發明采用以下技術方案：本發明提供了一種光刻投影物鏡控制裝置。所述光刻投影物鏡控制裝置包括上位機、工控機箱、驅動控制箱、壓電驅動器和電容傳感器：所述工控機箱包括主控單板計算機、多路光纖從板和VPX總線背板，主控單板計算機與多路光纖從板插在VPX總線背板上，所述主控單板計算機上設置有光刻投影物鏡控制器；所述驅動控制箱包括高壓驅動板和信號采集板，所述高壓驅動板與壓電驅動器連接，所述信號采集板與電容傳感器連接；所述主控單板計算機與上位機連接；所述多路光纖從板與所述信號采集板以及高壓驅動板連接；所述光刻投影物鏡控制器在接收到物鏡功能性調節控制指令后，對所述物鏡功能性調節控制指令進行閉環運動控制運算處理并打包后將控制指令發送至多路光纖從板；所述多路光纖從板將所述控制指令發送至高壓驅動板，所述高壓驅動板對所述控制指令做出數/模轉換之后完成對壓電驅動器的驅動控制。

在一些實施例中，所述光刻投影物鏡控制器包括應用層部件、通用層部件、驅動層部件和系統層部件；所述應用層部件包括相互獨立的主控單元、同步單元、運算單元、執行單元、調試單元和測試單元；所述通用層部件包括相互獨立的通信單元、存儲操作單元和協議處理單元；所述驅動層部件包括相互獨立的配置單元、中斷控制單元和I/O傳輸單元；所述系統層部件包括相互獨立的對操作系統OS配置單元、入口邏輯和硬件資源申請單元。

在一些實施例中，所述光刻投影物鏡控制器通過通用層部件的通信單元接收物鏡功能性調節控制指令后，將其傳遞至應用層部件的主控單元；所述主控單元根據同步單元對任務優先級的配置，將數據傳遞至運算單元進行閉環運動控制運算處理，運算處理后的數據經過執行單元調用協議處理單元打包后，通過驅動層部件的I/O傳輸單元發送至多路光纖從板；所述多路光纖從板將控制指令發送至高壓驅動板；所述高壓驅動板對控制指令做出數/模轉換之后完成對壓電驅動器的驅動控制。

在一些實施例中，所述操作系統包括VxWorks或QNX或pSOS或RTLInux或WinCE實時操作系統。

在一些實施例中，所述主控單板計算機和多路光纖從板與所述VPX總線背板之間通過VPX總線連接。

在一些實施例中，所述主控單板計算機和多路光纖從板與所述VPX總線背板之間采用OpenVPX標準進行數據交換。

在一些實施例中，所述高壓驅動板通過高壓模擬信號傳輸鏈路與壓電驅動器連接；所述信號采集板通過低壓模擬信號傳輸鏈路與電容傳感器連接。