[發明專利]一種姿態測量裝置有效
| 申請號: | 201611133624.6 | 申請日: | 2016-12-10 |
| 公開(公告)號: | CN106525100B | 公開(公告)日: | 2018-10-23 |
| 發明(設計)人: | 王東平;吳志會;倪明陽;張德福;楊懷江;隋永新 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01D5/58 | 分類號: | G01D5/58;G01C25/00 |
| 代理公司: | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 趙勍毅 |
| 地址: | 130033 吉林省長春*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 六自由度 低成本 微位移 測量 六自由度位移 姿態測量裝置 高精度測量 光杠桿原理 位置探測器 被測物體 并聯機構 傳感裝置 二級放大 角度轉化 柔性鉸鏈 一級放大 姿態測量 納米級 再利用 放大 | ||
1.一種姿態測量裝置,其特征在于,包括位移放大系統、光杠桿位移測量系統,其中所述位移放大系統包括靜平臺、動平臺以及位于所述動平臺和所述靜平臺之間的柔性鉸鏈支撐腿,所述柔性鉸鏈支撐腿包括可轉動安裝在所述動平臺上的動支腿以及可轉動安裝在所述靜平臺上的靜支腿,所述光杠桿位移測量系統包括激光器、固定在所述動支腿上的上反射鏡、固定在所述靜支腿上的下反射鏡以及安裝在所述靜平臺上的位置探測器,所述上反射鏡的鏡面和所述下反射鏡的鏡面相對設置,由所述激光器發射的激光束經由所述上反射鏡、所述下反射鏡照射在所述位置探測器上。
2.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,在初始狀態下,所述動支腿和所述靜支腿平行設置,所述上反射鏡與所述下反射鏡之間平行間隔設置。
3.根據權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述靜平臺上設有支架,所述激光器安裝在所述支架上。
4.根據權利要求3所述的裝置,其特征在于,所述支架的截面為等腰梯形,所述激光器豎直安裝在所述支架的側面上,所述位置探測器位于所述支架的上底面。
5.根據權利要求4所述的裝置,其特征在于,所述柔性鉸鏈支撐腿還包括上柔性十字鉸鏈及下柔性十字鉸鏈,所述動平臺的底部設有用于連接所述柔性鉸鏈支撐腿一端的第一安裝部,所述靜平臺的頂部設有用于支撐所述柔性鉸鏈支撐腿另一端的第二安裝部,所述上柔性十字鉸鏈的一端和所述動支腿連接,所述上柔性十字鉸鏈的另一端和所述第一安裝部連接,所述下柔性十字鉸鏈的一端與所述靜支腿連接,所述下柔性十字鉸鏈的另一端與所述第二安裝部連接。
6.根據權利要求5所述的裝置,其特征在于,所述第一安裝部與所述動平臺之間可轉動連接,所述第二安裝部與所述靜平臺之間可轉動連接。
7.根據權利要求6所述的裝置,其特征在于,所述柔性鉸鏈支撐腿包括六個,所述位移放大系統為六自由度位移放大系統,所述第一安裝部設有三個且均布在所述動平臺的底部,所述第二安裝部設有三個且均布在所述靜平臺的頂部,所述支架具有三個且位于相鄰兩個第二安裝部之間,所述第一安裝部與所述第二安裝部在垂直方向上的投影夾角為60度。
8.根據權利要求7所述的裝置,其特征在于,每相鄰的兩個柔性鉸鏈支撐腿的一端共同連接在同一個第一安裝部上,每相鄰的兩個柔性鉸鏈支撐腿的另一端共同連接在同一個第二安裝部上。
9.根據權利要求7所述的裝置,其特征在于,共用一個第一安裝部的兩個相鄰的柔性鉸鏈支撐腿與支架位于同一平面內。
10.根據權利要求1至9中任一項所述的裝置,其特征在于,所述柔性鉸鏈支撐腿的材料為采用MEMS工藝在硅基材質上加工而成。
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