[發(fā)明專利]壓電陶瓷致動片及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611130552.X
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106784297B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁耀民;趙程;范冠鋒;王曉峰
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州攀特電陶科技股份有限公司
• 主分類號: H01L41/187
• 分類號: H01L41/187;H01L41/312
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 郭俊霞

本發(fā)明提供了一種壓電陶瓷致動片及其制備方法，涉及壓電陶瓷元件技術(shù)領(lǐng)域，包括第一壓電陶瓷片和增韌陶瓷基板，所述增韌陶瓷基板設(shè)置于所述第一壓電陶瓷片的下方，所述第一壓電陶瓷片和所述增韌陶瓷基板一體共燒成型,所述增韌陶瓷基板作為支撐基板，與第一壓電陶瓷片形成壓電陶瓷致動片，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的壓電陶瓷致動片，壓電陶瓷片和支撐基板之間采用膠粘劑連接，由于膠粘劑的老化而導(dǎo)致在使用過程中性能不穩(wěn)定，可靠性差的技術(shù)問題，達(dá)到了第一壓電陶瓷片和增韌陶瓷基板之間的連接致密穩(wěn)定，壓電陶瓷致動片在使用過程中性能穩(wěn)定，可靠性好的技術(shù)效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電陶瓷元件技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種壓電陶瓷致動片及其制備方法。

背景技術(shù)

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，利用壓電技術(shù)的正壓電效應(yīng)或者逆壓電效應(yīng)形成的壓電陶瓷致動片在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，如壓電馬達(dá)、壓電泵、高速智能閥門、經(jīng)編機(jī)賈卡，緯編機(jī)選針器等。

現(xiàn)有的壓電陶瓷致動片包括壓電陶瓷片和支撐基板，壓電陶瓷片通過膠粘劑與支撐基板粘合連接，但是由于膠粘劑固化過程中產(chǎn)生收縮，導(dǎo)致壓電陶瓷片和支撐基板之間產(chǎn)生收縮應(yīng)力，且膠粘劑容易老化變形，使得壓電陶瓷致動片在使用過程中的性能不穩(wěn)定，可靠性差。

有鑒于此，特提出本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一在于提供一種壓電陶瓷致動片，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的壓電陶瓷致動片，其壓電陶瓷片通過膠粘劑與支撐基板粘合連接，由于膠粘劑的固化過程中產(chǎn)生收縮，且膠粘劑容易老化變形，導(dǎo)致壓電陶瓷致動片在使用過程中性能不穩(wěn)定，可靠性差的技術(shù)問題。

本發(fā)明提供的壓電陶瓷致動片，包括第一壓電陶瓷片和增韌陶瓷基板，所述增韌陶瓷基板設(shè)置于所述第一壓電陶瓷片的下方，所述第一壓電陶瓷片和所述增韌陶瓷基板一體共燒成型；所述第一壓電陶瓷片包括第一陶瓷片、第一外電極片和第一內(nèi)電極片，所述第一外電極片設(shè)置于所述第一陶瓷片的上表面，所述第一內(nèi)電極片設(shè)置于所述第一陶瓷片的下表面。

進(jìn)一步的，所述第一壓電陶瓷片為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述壓電陶瓷致動片還包括第一焊盤和第二焊盤，所述第一焊盤與所述第一外電極片連接，所述第二焊盤與所述第一內(nèi)電極片連接。

進(jìn)一步的，所述壓電陶瓷致動片還包括第二壓電陶瓷片，所述第二壓電陶瓷片設(shè)置于所述增韌陶瓷基板的下方，所述第一壓電陶瓷片、所述增韌陶瓷基板和所述第二壓電陶瓷片一體共燒成型；所述第二壓電陶瓷片包括第二陶瓷片、第二外電極片和第二內(nèi)電極片，所述第二外電極片設(shè)置于所述第二陶瓷片的下表面，所述第二內(nèi)電極片設(shè)置于所述第二陶瓷片的上表面。

進(jìn)一步的，所述第二壓電陶瓷片為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述壓電陶瓷致動片還包括第三焊盤、第四焊盤和第五焊盤，所述第三焊盤與所述第一外電極片連接，所述第四焊盤分別與所述第一內(nèi)電極片和所述第二內(nèi)電極片連接，所述第五焊盤與第二外電極片連接。

進(jìn)一步的，所述壓電陶瓷致動片還包括第六焊盤、第七焊盤、第八焊盤和第九焊盤，所述第六焊盤與所述第一外電極片連接，所述第七焊盤與所述第一內(nèi)電極片連接，所述第八焊盤與所述第二內(nèi)電極片連接，所述第九焊盤與第二外電極片連接。

本發(fā)明的目的之二在于提供上述壓電陶瓷致動片的制備方法，包括如下步驟，

(A)制備增韌陶瓷基板生坯和第一陶瓷片生坯；

(B)在所述第一陶瓷片生坯的上下表面分別制備第一外電極片和第一內(nèi)電極片，制得第一壓電陶瓷片生坯；

(C)將所述第一壓電陶瓷片生坯放置于所述增韌陶瓷基板的上表面，進(jìn)行共燒，制得壓電陶瓷致動片半成品；

(D)將所述壓電陶瓷致動片半成品進(jìn)行極化處理，即制成壓電陶瓷致動片。