[發明專利]鍛造拔長模具圓弧面內部缺陷的檢測方法

有效

• 申請號: 201611130045.6
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106596721B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 盧少武;劉輝江;賀文亮
• 申請（專利權）人: 株洲硬質合金集團有限公司
• 主分類號: G01N29/04
• 分類號: G01N29/04;G01N29/26;G01N29/30
• 代理公司: 長沙永星專利商標事務所(普通合伙) 43001
• 代理人: 周詠;林毓俊

本發明涉及一種鍛造拔長模具圓弧面內部缺陷的檢測方法，包括：檢測大圓弧面時，利用相控陣超聲檢測設備，采用能夠調節曲率的楔塊調節其曲率與被檢大圓弧相同或基本一致，利用靈敏度試塊調節檢測靈敏度，以第一檢測參數把探頭緊貼在大圓弧的內表面對大圓弧內部進行檢測；檢測過渡圓弧時，調節楔塊曲率與被檢過渡圓弧相同或基本一致，利用靈敏度試塊調節檢測靈敏度，以第二檢測參數把所述探頭緊貼過渡圓弧面的外表面進行檢測，所述第二檢測參數中檢測陣元數值低于第一檢測參數。本發明可以同時檢測直徑36～220mm范圍內的圓弧及其過渡圓弧，檢測期間不用換探頭及楔塊。檢測效率大幅提高。同時，通過靈敏度試塊設計，大幅提高了檢測的靈敏度。

技術領域

本發明屬于超聲波探傷技術領域，具體涉及一種鍛造拔長模具圓弧面內部缺陷的檢測方法，該鍛造拔長模可以用于制造濺射靶材的金屬鑄錠。

背景技術

射靶材作為鍍膜領域的一種關鍵材料，常用于大規模集成電路芯片、LCD等離子顯示屏、照相機鏡頭、建筑和汽車工業用玻璃的鍍膜。為保證濺射時薄膜的沉積速率高及均勻的薄膜厚度，濺射靶材應該具有均勻的內部組織結構，包括均勻細小的晶粒、均勻的織構分布。

熔煉生產出的鑄錠晶粒粗大，這就必須對鑄錠進行鍛造加工以破碎其內部粗大的柱狀晶粒，同時鍛合鑄錠內部的氣孔，使鑄錠更致密。拔長是破碎晶粒的一種有效手段，鑄錠晶粒粗大必須通過金屬鑄錠的鍛造拔長模具施加較大壓力以破碎晶粒，使其晶粒細化，晶粒比較均勻。在這過程中，壓力的均勻性是保證濺射靶材質量的最主要因素。壓力的均勻性必須通過模具質量來保證。在高壓下，模具易出現裂紋，特別在受力最大的大圓弧面，易出現裂紋。模具在出現裂紋后，鍛造壓力、拔長壓力無法達到，因而無法保障濺射靶材內部質量。因此必須在加工前，對其進行檢測，傳統的檢測方法是先檢測大圓弧面，后采用特殊的方法檢測過渡圓弧R，這種手段檢測效率低，檢測靈敏度不高，需要變換探頭及楔塊，成本高。

發明內容

本發明針對上述不足，提供一種鍛造拔長模具圓弧面內部缺陷檢測方法。采用該方法可以同時檢測大圓弧面和過渡圓弧R。

本發明的技術方案為：一種鍛造拔長模具圓弧面內部缺陷的檢測方法，包括：

通過靈敏度試塊調節檢測靈敏度，所述靈敏度試塊包括從臺階處下凹的大圓弧面，以及大圓弧面與臺階相接處的兩個過渡圓弧面，大圓弧面與過渡圓弧面尺寸與鍛造拔長模具相同；

所述靈敏度試塊具有：在其中一個過渡圓弧處的第一個橫孔，用于調節過渡圓弧檢測靈敏度；在過渡圓弧與臺階相接處的第二個橫孔；在過渡圓弧與大圓弧面的相接處的第三個橫孔；在大圓弧面底部的第四個橫孔；在大圓弧面處位于第四個橫孔上方的第五個橫孔，用于調節大圓弧檢測靈敏度；第二、三和四個橫孔用于調探頭的掃描角；

檢測大圓弧面時，利用相控陣超聲檢測設備，采用能夠調節曲率的楔塊調節其曲率與被檢大圓弧相同或基本一致，利用靈敏度試塊調節檢測靈敏度，以第一檢測參數把探頭緊貼在大圓弧的內表面對大圓弧內部進行檢測；

檢測過渡圓弧時，調節楔塊曲率與被檢過渡圓弧相同或基本一致，利用靈敏度試塊調節檢測靈敏度，以第二檢測參數把所述探頭緊貼過渡圓弧面的外表面進行檢測，所述第二檢測參數中檢測陣元數值低于第一檢測參數。

在本發明一個具體實施方式中，五個橫孔均距離圓弧面1～6mm，直徑1～3mm。

在本發明一個具體實施方式中，第一個橫孔位于其中一個過渡圓弧的對稱軸處；第二個橫孔位于另一個過渡圓弧與臺階相接處；第三個橫孔在所述另一個過渡圓弧與大圓弧面的相接處；第四個橫孔在大圓弧面的對稱軸處；第五個橫孔在大圓弧面位于第一個橫孔一側的1/4圓弧處。