[發(fā)明專(zhuān)利]一種液動(dòng)壓懸浮研磨拋光一體加工間隙可調(diào)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611129540.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106625156B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文東輝;尹林志;陳珍珍;章少杰;袁巧玲
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B24B27/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B27/00;B24B45/00;B24B47/12;B24B47/26
• 代理公司: 杭州浙科專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發(fā)明公開(kāi)了一種液動(dòng)壓懸浮研磨拋光一體加工間隙可調(diào)裝置，包括拋光盤(pán)、液動(dòng)壓懸浮裝置、升降裝置、壓力檢測(cè)裝置、加工間隙調(diào)整裝置和支撐裝置，所述拋光盤(pán)表面劃分成十個(gè)基本單元，每個(gè)基本單元表面均包括從右至左依次設(shè)置的工件貼片區(qū)、鍥形區(qū)域、蓄流槽和約束邊界；所述加工間隙調(diào)整裝置包括彈簧組和萬(wàn)向浮動(dòng)接頭；本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、設(shè)備成本低；采用了萬(wàn)向浮動(dòng)接頭連接，使得拋光盤(pán)與研磨盤(pán)的貼合更緊密；采用了可滑動(dòng)的彈簧組，使得拋光盤(pán)和研磨盤(pán)無(wú)間隙貼合進(jìn)行研磨；通過(guò)伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)拋光工具的旋轉(zhuǎn)，避免了復(fù)雜的傳動(dòng)環(huán)節(jié)造成的誤差積累，提高了加工精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說(shuō)，尤其涉及一種液動(dòng)壓懸浮研磨拋光一體加工間隙可調(diào)裝置。

背景技術(shù)

超精密加工技術(shù)是一門(mén)新興的綜合性加工技術(shù)。它集成了現(xiàn)代機(jī)械、光學(xué)、電子、計(jì)算機(jī)、測(cè)量及材料等先進(jìn)技術(shù)成就，已成為國(guó)家科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。為了獲得各種元器件及裝備的高性能，要求元件和零件的加工精度越來(lái)越高，有的甚至要求達(dá)到納米級(jí)或更高的加工精度和無(wú)損傷的表面加工質(zhì)量。

超精密拋光是目前最主要的終加工手段。拋光過(guò)程的材料去除量十分微小，一般在幾微米以下。目前，非接觸式拋光是獲得超光滑表面的主要拋光方法。

常見(jiàn)的非接觸拋光，如浮法拋光，其液動(dòng)壓效應(yīng)較弱，加工效率低，不能完全消除拋光引起的表面殘余應(yīng)力；如動(dòng)壓浮離拋光，拋光壓力分布不均勻，驅(qū)動(dòng)軸回轉(zhuǎn)精度要求高，拋光起始和終了階段仍存在工件與磨粒的直接接觸。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有的研磨拋光裝置是獨(dú)立開(kāi)來(lái)的，現(xiàn)在為了解決裝置獨(dú)立，以及研磨后進(jìn)行拋光需要二次裝配問(wèn)題，提出了一種穩(wěn)定性好、定位精度高、液壓動(dòng)力穩(wěn)定、拋光過(guò)程均勻性好、研磨盤(pán)和拋光盤(pán)貼合性好的液動(dòng)壓懸浮研磨拋光一體加工間隙可調(diào)裝置。

本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的：一種液動(dòng)壓懸浮研磨拋光一體加工間隙可調(diào)裝置，包括拋光盤(pán)、液動(dòng)壓懸浮裝置、升降裝置、壓力檢測(cè)裝置、加工間隙調(diào)整裝置和支撐裝置，所述拋光盤(pán)表面劃分成十個(gè)基本單元，每個(gè)基本單元表面均包括從右至左依次設(shè)置的工件貼片區(qū)、鍥形區(qū)域、蓄流槽和約束邊界；

所述支撐裝置包括后背板、左側(cè)板和右側(cè)板，所述左側(cè)板和右側(cè)板均垂直固定在所述后背板上；

所述升降裝置包括第一伺服電機(jī)、滾珠絲杠、第一直線導(dǎo)軌、絲杠螺母、第一滑塊，所述滾珠絲杠豎直安裝在所述后背板上，滾珠絲杠的一端連接第一伺服電機(jī)，所述第一直線導(dǎo)軌設(shè)有兩條，兩條第一直線導(dǎo)軌分別豎直安裝在左側(cè)板和右側(cè)板上，每條直線導(dǎo)軌上均套裝有第一滑塊，所述絲杠螺母套裝在所述滾珠絲杠上；

所述液動(dòng)壓懸浮裝置包括滾珠花鍵軸、底板、側(cè)安裝板、頂部固定板、第二直線導(dǎo)軌、第二滑塊、聯(lián)軸器、彈簧組、導(dǎo)向柱、帶輪、同步帶和第二伺服電機(jī)，所述絲杠螺母和兩個(gè)第一滑塊均與底板固定連接，第一伺服電機(jī)運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述底板沿第一直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；所述側(cè)安裝板設(shè)有兩塊，兩塊側(cè)安裝板均豎直固定在所述底板上，所述頂部固定板水平固定在兩塊側(cè)安裝板的頂部，兩塊側(cè)安裝板上分別設(shè)有一條第二直線軌道；每條第二直線導(dǎo)軌上均套裝有一個(gè)第二滑塊，兩個(gè)第二滑塊固定在動(dòng)板上；滾珠花鍵軸穿過(guò)底板與聯(lián)軸器的一端連接，滾珠花鍵軸的上端固定在動(dòng)板上，所述底板上固定有導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱的上端穿過(guò)動(dòng)板，底板和動(dòng)板之間的導(dǎo)向柱上套裝有彈簧；所述滾珠花鍵軸上安裝有帶輪，帶輪通過(guò)同步帶連接固定在底板上的第二伺服電機(jī)，所述第二伺服電機(jī)通過(guò)同步帶驅(qū)動(dòng)帶輪，將動(dòng)力傳遞給滾珠花鍵軸，并帶動(dòng)拋光盤(pán)的高速轉(zhuǎn)動(dòng)；

所述壓力檢測(cè)裝置包括螺紋檢測(cè)軸和測(cè)力傳感器，所述頂部固定板上設(shè)置有與所述螺紋檢測(cè)軸相配合的通孔，螺紋檢測(cè)軸通過(guò)螺栓固定在頂部固定板上，測(cè)力傳感器固定在螺紋檢測(cè)軸的底部，測(cè)力傳感器在動(dòng)板沿第二直線導(dǎo)軌上移時(shí)抵住所述動(dòng)板；