[發明專利]掩模組件、掩模組件的制造方法及包括掩模組件的裝置

有效

• 申請號: 201611127385.3
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN106960917B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 張淳喆;宋昇勇;任星淳;黃圭煥;文敏浩;文英慜
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

提供了掩模組件、該掩模組件的制造方法以及包括該掩模組件的裝置。該掩模組件包括掩模片。該掩模片包括具有開口的圖案部，以及連接至該圖案部的焊接部。該焊接部具有不同于圖案部的顆粒尺寸的顆粒尺寸。

相關申請的交叉引用

本申請要求在2016年1月12日提交的第10-2016-0003679號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請通過引用并入本文，就各方面而言都如同在本文中完全闡述一樣。

技術領域

示例性實施方式涉及掩模組件、制造該掩模組件的方法以及包括該掩模組件的裝置。

背景技術

諸如移動電話、筆記本計算機、個人數字助手、平板電腦等的電子設備被廣泛地使用。為了支持各種功能，這些設備通常包括顯示設備來為用戶提供視覺信息，例如，圖像信息或視頻信息。近來，由于用于驅動這樣的顯示設備的部件已經變得小型化，顯示設備在電子設備中的使用逐漸增加。

掩模組件可用來制造顯示設備。掩模組件包括掩模框和掩模片。掩模片和掩?？蛑g的焊接效率可能影響顯示設備的分辨率。

在本背景部分中公開的上述信息僅是為了加強對本發明構思背景的理解，并且，因此，其可包含不構成在本國中由本領域普通技術人員所已知的現有技術的信息。

發明內容

示例性實施方式提供了掩模組件和用于精確制造顯示設備的、包括該掩模組件的裝置。

附加的方面將在下文的詳細描述中闡述，并且，在一定程度上，將從本公開中變得顯而易見，或可通過實施本發明構思而被習得。

示例性實施方式公開了包括掩模片的掩模組件，掩模片包括：具有開口的圖案部；以及連接至圖案部的焊接部，焊接部具有不同于圖案部的顆粒尺寸的顆粒尺寸。

示例性實施方式公開了制造掩模組件的方法，該方法包括制造掩模片，并將掩模片安裝在掩模框上。掩模片的制造包括：在基礎構件的第一部分中形成開口以形成圖案部；以及熱處理基礎構件的第二部分以形成焊接部。圖案部和焊接部作為掩模片被提供。

示例性實施方式公開了用于制造顯示設備的裝置，該裝置包括掩模組件、以及面對掩模組件并經由掩模組件提供沉積材料的沉積源。掩模組件包括掩模片，掩模片包括：具有開口的圖案部；以及連接至圖案部的焊接部，焊接部具有不同于圖案部的顆粒尺寸的顆粒尺寸。

前述的大體說明和以下的詳細說明是示例性和解釋性的，且旨在提供對要求保護的主體的進一步解釋。

附圖說明

附圖示出了本發明構思的示例性實施方式，并且與說明書一起用來解釋本發明構思的原理，其中，附圖被包括以提供對本發明構思的進一步理解，并且附圖并入本說明書且構成本說明書的一部分。

圖1是根據示例性實施方式的掩模組件的立體圖。

圖2是沿著圖1中的線II-II'的剖視圖。

圖3是示出了根據示例性實施方式的制造掩模組件的方法的流程圖。

圖4是示出了根據本實施方式的掩模片焊接結果和根據對比實施方式的掩模片焊接結果的平面圖。

圖5是根據示例性實施方式的用于制造顯示設備的裝置的示意性剖視圖。

圖6是由圖5中的裝置制造的顯示設備的平面圖。

圖7是沿著圖6中的線VII-VII'截取的剖視圖。

具體實施方式