[發(fā)明專利]一種基于啁啾光柵的間隙檢測(cè)與控制的超分辨光刻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611122015.0
• 申請(qǐng)日: 2016-12-08
• 公開（公告）號(hào): CN106547173B
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅先剛;王彥欽;馬曉亮;趙澤宇;高平;李雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于啁啾光柵的間隙檢測(cè)與控制的超分辨光刻裝置，其特點(diǎn)在于：該裝置包括超精密環(huán)控系統(tǒng)(1)、主動(dòng)隔振平臺(tái)(2)、支撐框架(3)、光源(4)、間隙檢測(cè)系統(tǒng)(5)、對(duì)準(zhǔn)模塊(6)、光刻鏡頭模塊(7)、承片臺(tái)模塊(8)和控制系統(tǒng)(9)；

所述的光源(4)安裝在支撐框架(3)上，支撐框架(3)安裝在主動(dòng)隔振平臺(tái)(2)上，主動(dòng)隔振平臺(tái)(2)安裝在減振地基上，整個(gè)裝置安裝在超精密環(huán)控系統(tǒng)(1)內(nèi)，控制系統(tǒng)(9)安裝在超精密環(huán)控系統(tǒng)(1)外面的地基上；

所述的間隙檢測(cè)系統(tǒng)(5)包括三套相同的間隙檢測(cè)模塊(5-1、5-2、5-3)，三套模塊通過X軸位移臺(tái)(11)成120°安裝在主基板(10)上，每一間隙檢測(cè)模塊包括X軸位移臺(tái)(11)、Y軸位移臺(tái)(12)、傾斜轉(zhuǎn)接板(13)、Z軸位移臺(tái)(14)、Rx/Ry旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)、Tz軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)、鏡頭安裝板(17)、鏡頭夾持架(18)、CCD(19)、遠(yuǎn)心鏡頭(20)、準(zhǔn)直器安裝板(21)、準(zhǔn)直器旋轉(zhuǎn)臺(tái)(22)、準(zhǔn)直器夾持架(23)、激光準(zhǔn)直器(24)、光纖頭(25)和光纖耦合激光器(26)，其中Y軸位移臺(tái)(12)安裝在X軸位移臺(tái)(11)上，傾斜轉(zhuǎn)接板(13)安裝在Y軸位移臺(tái)(12)上，Z軸位移臺(tái)(14)安裝在傾斜轉(zhuǎn)接板(13)上，Rx/Ry旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)安裝在Z軸位移臺(tái)(14)上，Tz軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)安裝在Rx/Ry旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)上，鏡頭安裝板(17)安裝在Tz軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)上，鏡頭夾持架(18)安裝在鏡頭安裝板(17)的下半部分，CCD(19)與遠(yuǎn)心鏡頭(20)連接夾持在鏡頭夾持架(18)上，準(zhǔn)直器安裝板(21)安裝在鏡頭安裝板(17)的上半部分，準(zhǔn)直器旋轉(zhuǎn)臺(tái)(22)安裝在準(zhǔn)直器安裝板(21)上，準(zhǔn)直器夾持架(23)安裝在準(zhǔn)直器旋轉(zhuǎn)臺(tái)(22)上，激光準(zhǔn)直器(24)安裝在準(zhǔn)直器夾持架(23)上，光纖頭(25)安裝在激光準(zhǔn)直器(24)上，并通過光纖與光纖耦合激光器(26)連接；

所述的對(duì)準(zhǔn)模塊(6)，包括左對(duì)準(zhǔn)模塊(6-1)和右對(duì)準(zhǔn)模塊(6-2)，兩者成左右對(duì)稱，安裝在主基板(10)上；

所述的光刻鏡頭模塊(7)，安裝在主基板(10)的中心沉槽上，光刻鏡頭模塊(7)上安裝有超分辨光刻器件(27)，超分辨光刻器件(27)上加工有光刻圖形區(qū)(28)、啁啾光柵圖形區(qū)(29)和對(duì)準(zhǔn)圖形區(qū)(30)；

所述的承片臺(tái)模塊(8)，包括激光干涉儀(32)、六軸精密位移臺(tái)(33)、六軸納米位移臺(tái)(34)、承片臺(tái)(35)、基片(36)，其中兩套激光干涉儀(32-1、32-2)和六軸精密位移臺(tái)(33)安裝在大理石平板(31)上，六軸納米位移臺(tái)(34)安裝在六軸精密位移臺(tái)(33)上，承片臺(tái)(35)安裝在六軸納米位移臺(tái)(34)上，基片(36)吸附在承片臺(tái)(35)上。