[發明專利]一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構

有效

• 申請號: 201611117340.8
• 申請日: 2016-12-07
• 公開（公告）號: CN106783675B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 文鷗;張勇
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;尹彥

本發明公開了一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構，石墨舟放置于側向出舟機構的石墨舟承載座上，石墨舟上沿其整個寬度并列設置有多個槽，每個槽沿所述石墨舟的整個長度延伸，每個槽內放置有硅片，側向出舟機構帶動石墨舟運動，該倒片檢測裝置包括多個反光座和多個光電開關，所述石墨舟的下方沿其整個長度間隔設置所述多個反光座，所述石墨舟的上方沿其整個寬度設置所述多個光電開關，每個光電開關對應于所述石墨舟上的一個槽。該具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構能夠檢測到石墨舟中的倒片，并將具有倒片的石墨舟進行退舟并返回至自動插片機予以人工糾正，避免因石墨舟中存在倒片而導致硅片鍍膜不良而造成和硅片浪費。

技術領域

本發明涉及PECVD設備的側向出舟機構技術領域，更具體地說是涉及一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構。

背景技術

目前PECVD設備的側向出舟機構與自動插片機進行銜接，實現了全自動化作業。側向出舟機構設置在PECVD設備的暫存區下方，側向出舟機構通過同步帶傳輸與自動插片機進行銜接并進行自動插片，進行自動插片后側向出舟機構在傳輸至側出舟同步帶的過程中，由于機械振動，硅片在石墨舟內會出現倒片的情況，如果此時繼續進行工藝，就會導致硅片鍍膜不良而造成硅片浪費。

因此亟待一種能夠檢測到石墨舟內出現倒片的裝置。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構，能夠檢測到石墨舟內的倒片，從而對具有倒片的石墨舟進行退舟，避免因石墨舟中存在倒片而導致硅片鍍膜不良而造成硅片浪費。

本發明的技術方案為：一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構，石墨舟放置于側向出舟機構的石墨舟承載座上，石墨舟上沿其整個寬度并列設置有多個槽，每個槽沿所述石墨舟的整個長度延伸，每個槽內放置有硅片，側向出舟機構帶動石墨舟運動，該倒片檢測裝置包括多個反光座和多個光電開關，所述石墨舟的下方沿其整個長度間隔設置所述多個反光座，所述石墨舟的上方沿其整個寬度設置所述多個光電開關，每個光電開關對應于所述石墨舟上的一個槽。

所述倒片檢測裝置還包括底座、頂座和用于固定所述多個光電開關的固定組件，所述底座呈門拱形，具有頂板和分別設于所述頂板兩端的兩個側板，所述頂板位于所述石墨舟的上方并橫跨所述石墨舟的整個寬度，所述兩個側板的下端固定在所述側向出舟機構上；所述頂座固定在所述底座的頂板上，所述頂座具有容置腔，所述固定組件和所述多個光電開關放置于所述容置腔內。

所述容置腔的開口處固定有蓋板。

所述固定組件包括多個固定座、連接座和兩根串接棒，所述兩根串接棒依次交替的穿過所述多個光電開關、所述多個固定座，所述連接座與所述多個固定座連接。

所述多個固定座分別具有L型凹槽，所述L型凹槽上開設有與所述兩根串接棒相適配的通孔，所述多個光電開光的一端分別設置塊狀連接部，所述塊狀連接部上開設有與所述兩根串接棒相適配的通孔，所述多個光電開光上的塊狀連接部對應放置于所述多個固定座上的L型凹槽內。

所述多個反光座固定在所述石墨舟承載座上。

本發明提出的具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構，通過在石墨舟的下方設置多個反光座，在石墨舟的上方設置多個光電開關，能夠檢測到石墨舟中的倒片，并將具有倒片的石墨舟進行退舟并返回至自動插片機予以人工糾正，避免因石墨舟中存在倒片而導致硅片鍍膜不良而造成和硅片浪費。

附圖說明

圖1為本發明側向出舟機構上安裝倒片檢測裝置的結構圖；

圖2為本發明倒片檢測裝置的結構圖；

圖3為本發明固定組件與光電開關的連接示意圖；

圖4為本發明光電開關和固定座通過串接棒連接在一起的示意圖；