[發(fā)明專利]一種集成電路生產(chǎn)線設(shè)備常量監(jiān)控的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611116100.6
• 申請(qǐng)日: 2016-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN108170103A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹陽;祁峰;楊嬌;姚呈呈;閆洪旭;白媛;姬小兵;徐增利;王晶;張麗麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽中科博微科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 李巨智

本發(fā)明涉及一種集成電路生產(chǎn)線上設(shè)備常量監(jiān)控的方法，配置設(shè)備常量數(shù)據(jù)文件，形成設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件；獲取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的路徑，并判斷按照路徑是否能讀取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件，讀取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的設(shè)備常量信息，存放入內(nèi)存中；根據(jù)設(shè)備常量信息內(nèi)容對(duì)應(yīng)讀取實(shí)時(shí)的設(shè)備常量信息，并將實(shí)時(shí)的設(shè)備常量數(shù)據(jù)值與設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的設(shè)備常量信息對(duì)比，進(jìn)行檢查和校驗(yàn)，存儲(chǔ)至服務(wù)器。本發(fā)明方法利用設(shè)備常量配置文件，從設(shè)備中實(shí)時(shí)讀取對(duì)應(yīng)的設(shè)備常量數(shù)據(jù)值，對(duì)讀取的設(shè)備常量數(shù)據(jù)值進(jìn)行范圍校驗(yàn)，能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備常量數(shù)據(jù)值是否出現(xiàn)異常的問題、具有很強(qiáng)的實(shí)時(shí)性和擴(kuò)展性等特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種設(shè)備常量監(jiān)控的方法，具體地說是一種集成電路生產(chǎn)線設(shè)備常量的監(jiān)控方法。

背景技術(shù)

在集成電路生產(chǎn)線設(shè)備管理系統(tǒng)中，需要對(duì)生產(chǎn)線上所有的設(shè)備進(jìn)行設(shè)備常量的監(jiān)控和管理操作，現(xiàn)在本領(lǐng)域現(xiàn)狀，以及存在的問題是設(shè)備常量的監(jiān)控和管理操作由設(shè)備工程師在設(shè)備本地控制系統(tǒng)中定期去查詢，但在整個(gè)生產(chǎn)線中會(huì)面臨設(shè)備種類繁多，設(shè)備常量差異很大，操作和監(jiān)控難度大等問題。上述方式需要每個(gè)設(shè)備廠商定期指派設(shè)備工程師在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維護(hù)，實(shí)施起來難度大，效率低，不僅增加了維護(hù)難度，而且不能做到實(shí)時(shí)監(jiān)控和維護(hù)設(shè)備常量的變化，并及時(shí)給出報(bào)警提示，這些問題也是我們需要解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種高效的用于集成電路生產(chǎn)線設(shè)備常量的監(jiān)控方法。

本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：

一種集成電路生產(chǎn)線上設(shè)備常量監(jiān)控的方法，包括以下步驟：

步驟1：配置設(shè)備常量數(shù)據(jù)文件，形成設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件；

步驟2：獲取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的路徑，并判斷按照路徑是否能讀取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件，如果是，則執(zhí)行步驟3，否則拋出錯(cuò)誤信息并退出；

步驟3：讀取設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的設(shè)備常量信息，存放入內(nèi)存中；

步驟4：根據(jù)設(shè)備常量信息內(nèi)容對(duì)應(yīng)讀取實(shí)時(shí)的設(shè)備常量信息，并將實(shí)時(shí)的設(shè)備常量數(shù)據(jù)值與設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的設(shè)備常量信息對(duì)比，進(jìn)行檢查和校驗(yàn)，存儲(chǔ)至服務(wù)器。

所述設(shè)備常量配置文件以XML格式保存在數(shù)據(jù)配置服務(wù)器上，文件內(nèi)部結(jié)構(gòu)包含若干節(jié)點(diǎn)，一個(gè)節(jié)點(diǎn)存放一條設(shè)備常量信息。

所述設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件的路徑是由數(shù)據(jù)配置服務(wù)器的路徑和設(shè)備常量配置文件的名稱組合而成。

所述檢查和校驗(yàn)過程為：

如果實(shí)時(shí)的設(shè)備常量數(shù)據(jù)值在設(shè)備常量配置文件里數(shù)據(jù)項(xiàng)配置的數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，則將該實(shí)時(shí)的設(shè)備常量信息存儲(chǔ)至服務(wù)器；否則給出報(bào)警信息，并將異常數(shù)據(jù)信息存儲(chǔ)至服務(wù)器。

所述實(shí)時(shí)的設(shè)備常量信息包括數(shù)據(jù)編號(hào)，數(shù)據(jù)名稱，當(dāng)前數(shù)值，記錄時(shí)間。

所述異常數(shù)據(jù)信息包括數(shù)據(jù)編號(hào)，數(shù)據(jù)名稱，當(dāng)前數(shù)值，數(shù)據(jù)范圍，記錄時(shí)間和報(bào)警信息描述。

所述設(shè)備常量信息包括：數(shù)據(jù)編號(hào)、數(shù)據(jù)名稱、數(shù)據(jù)類型、數(shù)據(jù)范圍和數(shù)據(jù)異常提示信息。

本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn)：

1、設(shè)備常量監(jiān)控實(shí)時(shí)性強(qiáng)。本發(fā)明是針對(duì)生產(chǎn)線各種類型的設(shè)備，將設(shè)備常量信息整合成設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件，系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)依據(jù)設(shè)備常量配置文件從生產(chǎn)線設(shè)備中讀取設(shè)備常量數(shù)據(jù)值，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備常量的實(shí)時(shí)監(jiān)控。

2、具有很強(qiáng)的擴(kuò)展性。可以根據(jù)實(shí)際需要，在設(shè)備常量數(shù)據(jù)配置文件上增加或刪除某些設(shè)備常量信息，使存儲(chǔ)的設(shè)備常量文件保存實(shí)際需要保存的設(shè)備常量信息，而不必改動(dòng)程序代碼，從而具有很強(qiáng)的擴(kuò)展性。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的設(shè)備常量監(jiān)控流程圖；