[發明專利]一種單晶硅片研磨砂輪及其使用方法在審
| 申請號： | 201611110836.2 | 申請日： | 2016-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN106363545A | 公開（公告）日： | 2017-02-01 |
| 發明（設計）人： | 薛佳偉;薛佳勇;王海軍 | 申請（專利權）人： | 天津眾晶半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B24D5/02 | 分類號： | B24D5/02;B24B9/06;B24B1/00 |
| 代理公司： | 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司12211 | 代理人： | 丁曉玥 |
| 地址： | 300400 天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 研磨 砂輪 及其 使用方法 | ||
【權利要求書】：
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