[發明專利]位置校正裝置及位置校正方法

有效

• 申請號: 201611110051.5
• 申請日: 2016-12-06
• 公開（公告）號: CN106773157B
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 薄海;馮輝賢;楊耀中;鐘富安;蔡文仁
• 申請（專利權）人: 友達光電（昆山）有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1333
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種位置校正裝置，用于將放置于操作臺面上的基板校正至指定位置，該基板具有相對的第一側及第二側，該基板位于該指定位置時，該第一側位于第一預定位置，該第二側位于第二預定位置，其特征在于該位置校正裝置包含：

第一校正組，鄰近該基板的該第一側設置，該第一校正組包含第一校正單元，該第一校正單元包含第一彈性件，該第一彈性件具有第一彈性系數；以及

第二校正組，鄰近該基板的該第二側設置，該第二校正組包含第二校正單元，該第二校正單元包含第二彈性件，該第二彈性件具有第二彈性系數，該第二彈性系數小于該第一彈性系數；

使用時，先驅動該第一校正組沿第一方向移動至該第一預定位置，該第一方向為該第一側指向該第二側的方向，然后驅動該第二校正組沿第二方向移動至該第二預定位置，該第二方向與該第一方向相反，從而將該基板夾持于該第一校正組與該第二校正組之間。

2.根據權利要求1所述的位置校正裝置，其特征在于：該位置校正裝置還包含第一氣缸，該第一氣缸連接該第一校正組，該第一氣缸用于驅動該第一校正組移動。

3.根據權利要求1所述的位置校正裝置，其特征在于：該第一校正單元還包含與該第一彈性件相連接的第一抵擋部，該第一抵擋部具有第一抵擋弧面，該第二校正組移動至該第二預定位置時，該第一抵擋弧面抵接該基板的該第一側。

4.根據權利要求3所述的位置校正裝置，其特征在于：該第一抵擋部包含相連接的第一連接部及第一抵接部，該第一連接部的兩端分別連接該第一彈性件及該第一抵接部，該第一抵接部具有該第一抵擋弧面，該第一連接部的硬度大于該第一抵接部的硬度。

5.根據權利要求4所述的位置校正裝置，其特征在于：該第一連接部的材質為聚醚醚酮，該第一抵接部的材質為聚四氟乙烯。

6.根據權利要求1所述的位置校正裝置，其特征在于：該第一校正組還包含第三校正單元，該第二校正組還包含第四校正單元，該第一校正單元與該第二校正單元相對，該第三校正單元與該第四校正單元相對。

7.根據權利要求1所述的位置校正裝置，其特征在于：該第一預定位置為單一位置或一段區域范圍。

8.一種位置校正方法，用于將放置于操作臺面上的基板校正至指定位置，該基板具有相對的第一側及第二側，該基板位于該指定位置時，該第一側位于第一預定位置，該第二側位于第二預定位置，其特征在于該位置校正方法包含：

步驟a：提供位置校正裝置，該位置校正裝置包含：

第一校正組，鄰近該基板的該第一側設置，該第一校正組包含第一校正單元，該第一校正單元包含第一彈性件，該第一彈性件具有第一彈性系數；以及

第二校正組，鄰近該基板的該第二側設置，該第二校正組包含第二校正單元，該第二校正單元包含第二彈性件，該第二彈性件具有第二彈性系數，該第二彈性系數小于該第一彈性系數；

步驟b：驅動該第一校正組沿第一方向移動至該第一預定位置，該第一方向為該第一側指向該第二側的方向；以及

步驟c：驅動該第二校正組沿第二方向移動至該第二預定位置，該第二方向與該第一方向相反，從而將該基板夾持于該第一校正組與該第二校正組之間。

9.根據權利要求8所述的位置校正方法，其特征在于：該操作臺面上具有多個真空吸附孔，該方法還包含：

步驟d：校正完畢后，該多個真空吸附孔吸附該基板，以將該基板定位于該指定位置。

10.根據權利要求8或9所述的位置校正方法，其特征在于：校正前該第一校正組位于第一原始位置，該第二校正組位于第二原始位置，該方法還包含：

步驟e：校正完畢后，先驅動該第二校正組移動回該第二原始位置，再驅動該第一校正組移動回該第一原始位置。