[發明專利]拋光粒子-分散層復合體及包括此的拋光料漿組合物

有效

• 申請號: 201611109095.6
• 申請日: 2016-12-06
• 公開（公告）號: CN107033787B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 權璋國;李性表;權昌吉;黃晙夏
• 申請（專利權）人: 凱斯科技股份有限公司
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華;石磊

1.一種拋光粒子-分散層復合體，其包括：

拋光粒子；

第一分散劑，從由聚丙烯酸、聚丙烯酸銨鹽、聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸銨鹽、聚丙烯馬來酸、丙烯酸/苯乙烯共聚物、聚苯乙烯/丙烯酸共聚物、聚丙烯酰胺/丙烯酸共聚物、聚丙烯酸/磺酸共聚物、聚丙烯酸/丙二酸共聚物形成的群中選擇的至少任何一個的陰離子性化合物；

第二分散劑，從由谷氨酸、丙氨酸、甘氨酸、胱氨酸、組氨酸、天冬酰胺、吡啶羧酸及其鹽形成的群中選擇的至少任何一個的陽離子性化合物；及

第三分散劑，在分子式內包括兩個以上的被離子化為陽離子的氮原子的陽離子性聚合物，

其中，所述拋光粒子的表面、所述第二分散劑及所述第三分散劑顯示陽電荷，所述第一分散劑顯示陰電荷，

所述拋光粒子由液態法制造，且被分散使得所述拋光粒子的表面具有陽電荷，

其中，所述拋光粒子和所述第一分散劑的結合，及所述第一分散劑和所述第二分散劑及所述第三分散劑中至少任何一個的結合是靜電結合，

并且其中，所述拋光粒子是膠體狀態的二氧化鈰。

2.根據權利要求1所述的拋光粒子-分散層復合體，其特征為，在所述拋光粒子-分散層復合體內，包括0.01重量百分比至5重量百分比的所述第一分散劑，且

在所述拋光粒子-分散層復合體內，包括0.1重量百分比至10重量百分比的所述第二分散劑，且

在所述拋光粒子-分散層復合體內，包括0.01重量百分比至5重量百分比的所述第三分散劑。

3.根據權利要求1所述的拋光粒子-分散層復合體，其特征為，所述拋光粒子-分散層復合體還包括非離子性化合物，從聚乙二醇、聚丙二醇、乙烯丙烯共聚物、聚烷基氧化物、聚環氧乙烷、聚氧化乙烯及聚環氧丙烷形成的群中選擇的至少任何一個。

4.根據權利要求3所述的拋光粒子-分散層復合體，其特征為，在所述拋光粒子-分散層復合體內包括0.01重量百分比至10重量百分比的所述非離子性化合物。

5.根據權利要求1所述的拋光粒子-分散層復合體，其特征為，所述拋光粒子的直徑是10nm至300nm。

6.一種拋光料漿組合物，其包括：

根據權利要求1至5中任何一項所述的拋光粒子-分散層復合體。

7.根據權利要求6所述的拋光料漿組合物，其特征為，所述拋光料漿組合物的pH是3至6。

8.根據權利要求6所述的拋光料漿組合物，其特征為，所述拋光料漿組合物的電動電位是10mV至60mV。

9.根據權利要求6所述的拋光料漿組合物，其特征為，利用所述拋光料漿組合物，拋光包括氧化膜和氮化膜或聚膜的基板時，對氧化膜的氮化膜或聚膜的拋光選擇比是10:1至40:1。

10.根據權利要求6所述的拋光料漿組合物，其特征為，利用所述拋光料漿組合物，拋光包括氮化膜和聚膜的基板之后，凹陷發生量是以下。