[發明專利]一種紅外增強的寬帶光熱轉換薄膜器件有效
| 申請號: | 201611105403.8 | 申請日: | 2016-12-05 |
| 公開(公告)號: | CN106584975B | 公開(公告)日: | 2019-05-03 |
| 發明(設計)人: | 韋瑋;劉信興;陳良堯;胡二濤;臧愷巖;姚遠;鄭加金;鄭玉祥;王松有;張榮君;李晶;楊月梅 | 申請(專利權)人: | 復旦大學 |
| 主分類號: | B32B9/04 | 分類號: | B32B9/04;B32B17/06;B32B15/20;F24S70/10;F24S70/12;F24S70/16 |
| 代理公司: | 北京市領專知識產權代理有限公司 11590 | 代理人: | 林輝輪 |
| 地址: | 200433 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 紅外 增強 寬帶 光熱 轉換 薄膜 器件 | ||
1.一種紅外增強的寬帶光熱轉換薄膜器件,其特征在于,由金屬和非金屬薄膜組成的8層膜結構,其結構為:
第一層為防反射的保護層,采用透明介質膜;
第二層為光吸收層,采用過渡金屬膜;
第三層為光學振幅和位相匹配層,采用透明介質膜;
第四層為光吸收層,采用過渡金屬膜;
第五層為光學振幅和位相匹配層,采用透明介質膜;
第六層為光吸收層,采用過渡金屬膜;
第七層為光學振幅和位相匹配層,采用透明介質膜;
第八層為高反射層,采用完全非透明的高反射金屬膜;
第一層到第八層厚度的選擇依據各膜層的光學常數,在250-2000nm波長區,滿足的高吸收條件為:
(R+T)≤5%,AX≥95%,R+T+AX=1;
所述第一層、第三層、第五層、第七層的材料選用SiO2、玻璃、CaF2、KCl或MgF2透明介質材料;
所述第二層、第四層、第六層過渡金屬膜材料選用Ti、W、Cr;
所述第八層采用Ag、Al、Cu、Au;
所述第八層厚度100-150nm,第七層厚度40-60nm,第六層厚度10-20nm,第五層厚度40-80nm,第四層厚度5-10nm,第三層厚度40-80nm,第二層厚度2-5nm,第一層厚度60-80nm。
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