[發明專利]一種高純金屬濺射靶材的表面處理方法有效
| 申請號： | 201611102780.6 | 申請日： | 2016-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN106755891B | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 羅俊鋒;徐國進;丁照崇;李勇軍;崔佳;熊曉東;萬小勇;陳明 | 申請（專利權）人： | 有研億金新材料有限公司 |
| 主分類號： | C21D9/00 | 分類號： | C21D9/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 陳波 |
| 地址： | 102200*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶材 快速熱處理 高純金屬 濺射靶材 硬化層 加工技術領域 精密機加工 連續波激光 掃描電子束 再結晶組織 靶材表面 表面清洗 表面研磨 材料損耗 肌膚效應 綠色環保 熱處理法 制備過程 再結晶 相干 對靶 寬帶 位錯 制備 光源 | ||
1.一種高純金屬濺射靶材的表面處理方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)靶材進行表面精密機加工；
2)步驟1)所得靶材進行表面研磨，然后對表面進行清洗；
3)步驟2)所得靶材在真空條件下進行表面快速熱處理；
所述表面快速熱處理采用連續波激光熱處理法、掃描電子束法或非相干寬帶頻光源法；
所述連續波激光熱處理法的激光功率為1～3kW，激光散焦距離為20～50mm，光斑直徑為10～50mm，掃描速度為10～50mm/s，加熱的溫度為350～450℃；
所述掃描電子束法的電子束斑功率密度為1～3kW/cm2，掃描速度為10～50mm/s，加熱速度為100～200℃/s，加熱的溫度為350～450℃；
所述非相干寬帶頻光源法的加熱速度為50～100℃/s，加熱的溫度為350～450℃，保溫時間為1～10min。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟1)中精密機加工后的靶材表面粗糙度≤0.8μm。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述連續波激光熱處理法和掃描電子束法的掃描方式為搭接往復掃描方式或螺旋掃描方式。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述連續波激光熱處理法掃描過程中靶材傾斜角度為10°～30°。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非相干寬帶頻光源法的掃描方式為整體輻照方式，非相干寬帶頻光源為鹵光燈、電弧燈、石墨加熱器或紅外設備。
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