[發明專利]用于制造微機械結構元件的方法和微機械結構元件

有效

• 申請號: 201611101906.8
• 申請日: 2016-12-05
• 公開（公告）號: CN106853956B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: A·布萊特林;F·賴興巴赫;J·萊茵穆特;J·阿姆托爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81B7/02;G01P15/08;G01P3/42
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于制造微機械結構元件(1)的方法，所述微機械結構元件具有基底(3)和與所述基底(3)連接并與所述基底(3)包圍第一空腔(5)的蓋(7)，其中，在所述第一空腔(5)中，第一壓力占主導并且包括具有第一化學成分的第一氣體混合物，其中，

-在第一方法步驟(101)中，在所述基底(3)中或者在所述蓋(7)中構造將所述第一空腔(5)與所述微機械結構元件(1)的周圍環境(9)連接的進口孔(11)，其中，

-在第二方法步驟(102)中，調節所述第一空腔(5)中的第一壓力和/或第一化學成分，其中，

-在第三方法步驟(103)中，通過借助于激光將能量或熱引入到所述基底(3)或所述蓋(7)的吸收部分中來封閉所述進口孔(11)，其特征在于，

在第四方法步驟中，將用于進一步調節所述第一壓力和/或所述第一化學成分的反應氣體(801)引入到所述第一空腔(5)中。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在第五方法步驟中，引起所述反應氣體(801)的至少一個第一粒子A和另外的氣體(803)的至少一個第二粒子B之間的至少一個結合。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述至少一個結合基于所述至少一個第一粒子A的電子和所述至少一個第二粒子B的電子之間的相互作用而引起。

4.根據權利要求2或3所述的方法，其中，借助于所述結合這樣產生新粒子C，使得所述新粒子C的化學成分為

-AB_x或

-AB或

-A_xB，

其中，x＞1。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，所述新粒子C這樣產生，使得所述新粒子C以固體聚集態或以液體聚集態或以氣態聚集態存在。

6.根據權利要求2所述的方法，其中，所述至少一個結合是至少一個化學結合。

7.根據權利要求3所述的方法，其中，所述相互作用是靜電相互作用。

8.一種微機械結構元件(1)，其具有基底(3)和與所述基底(3)連接并與所述基底(3)包圍第一空腔(5)的蓋(7)，其中，在所述第一空腔(5)中，第一壓力占主導并且包括具有第一化學成分的第一氣體混合物，其中，所述基底(3)或所述蓋(7)包括封閉的進口孔(11)，其特征在于，

在所述第一空腔(5)中包括用于進一步調節所述第一壓力和/或所述第一化學成分的反應氣體(801)。

9.根據權利要求8所述的微機械結構元件(1)，其中，在所述第一空腔(5)中包括新粒子C，所述新粒子通過所述反應氣體(801)的至少一個第一粒子A和另外的氣體(803)的至少一個第二粒子B之間的至少一個結合產生。

10.根據權利要求9所述的微機械結構元件(1)，其中，所述新粒子C的化學成分為

-AB_x或

-AB或

-A_xB，

其中，x＞1。

11.根據權利要求8，9或10所述的微機械結構元件(1)，其中，所述蓋(7)與所述基底(3)包圍第二空腔，其中，在所述第二空腔中，第二壓力占主導并且包括具有第二化學成分的第二氣體混合物。

12.根據權利要求11所述的微機械結構元件(1)，其中，所述第一壓力小于所述第二壓力，其中，在所述第一空腔(5)中布置有用于測量轉速的第一傳感器單元，并且在所述第二空腔中布置有用于測量加速度的第二傳感器單元。

13.一種根據權利要求8，9或10所述的微機械結構元件(1)作為氣體傳感器的應用，其中，所述微機械結構元件(1)包括膜片。

14.根據權利要求9所述的微機械結構元件(1)，其中，所述至少一個結合是至少一個化學結合。