[發明專利]一種膜厚測量系統

有效

• 申請號: 201611099558.5
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN108151661B
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 劉玉;陳喆;李承東;操金明;潘占福;劉冬;程小輝;趙晨思
• 申請（專利權）人: 上海ABB工程有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏金霞;王艷江

1.一種膜厚測量系統，其特征在于，包括：

測量頭，適于測量待測工件上測量點的膜厚，以得到與所述膜厚關聯的測量信號；

機械臂，所述測量頭固定于所述機械臂上；

機器人控制部件，與所述測量頭和機械臂耦接，適于對所述測量信號進行數據采集，并根據數據采集結果控制所述機械臂的運動；

上位機，與所述機器人控制部件耦接；

其中，所述機械臂和機器人控制部件集成于同一機器人中；

所述機器人控制部件除用于控制所述機械臂的運動外，還用于作為控制主站，控制膜厚測量系統的膜厚測量過程，并且所述機器人控制部件將所述數據采集結果傳輸至所述上位機后，無需等待上位機將與所述膜厚關聯的信息反饋回來，直接控制所述機械臂運動。

2.根據權利要求1所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述機器人控制部件包括：

數采單元，適于對所述測量信號進行數據采集，以得到所述數據采集結果；

主站控制器，與所述數采單元耦接，適于根據所述數采單元的數據采集結果控制所述機械臂的運動。

3.根據權利要求2所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述上位機與所述主站控制器和數采單元電連接，適于根據所述數據采集結果得到所述膜厚，并顯示所述膜厚和/或膜厚測量結果，所述膜厚測量結果用于表示所述膜厚與預設的膜厚標準值的比對結果。

4.根據權利要求3所述的膜厚測量系統，其特征在于，當所述膜厚與膜厚標準值的差值超出預設的閾值范圍時，所述膜厚測量結果指示測量失敗，所述上位機進行報警。

5.根據權利要求4所述的膜厚測量系統，其特征在于，當所述膜厚測量結果指示測量失敗時，所述上位機發送測量失敗指令至所述主站控制器，使得所述主站控制器控制所述機械臂停止運動。

6.根據權利要求3所述的膜厚測量系統，其特征在于，對于所述待測工件上的不同測量點對應的膜厚標準值彼此獨立配置。

7.根據權利要求6所述的膜厚測量系統，其特征在于，不同測量點對應的膜厚標準值是通過所述上位機配置的。

8.根據權利要求3所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述上位機還適于對所述膜厚和/或膜厚測量結果進行存儲和數據分析，以生成交互式數據報表。

9.根據權利要求3所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述待測工件上的測量點的位置和/或數量是通過所述上位機預先配置的。

10.根據權利要求3所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述上位機還適于接收用戶對測量模式的配置，所述測量模式至少包括：生產模式和生產監測模式。

11.根據權利要求1至10任一項所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述測量頭為激光測量頭。

12.根據權利要求11所述的膜厚測量系統，其特征在于，還包括：電子控制單元，適于控制所述激光測量頭產生激光脈沖，所述激光脈沖發射至所述待測工件。

13.根據權利要求11所述的膜厚測量系統，其特征在于，所述激光測量頭采用的工作介質為固體激光材料。