[發明專利]一種數字同軸全息顯微三維工件臺控制系統有效
| 申請號： | 201611096640.2 | 申請日： | 2016-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN106681376B | 公開（公告）日： | 2020-03-20 |
| 發明（設計）人： | 田鵬;杜津;楊杰;楊帆;嚴偉;胡松;周毅;李凡星;姚靖威;鄧欽元 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G05D3/20 | 分類號： | G05D3/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 數字 同軸 全息 顯微 三維 工件 控制系統 | ||
【權利要求書】：
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