[發明專利]原料氣體供給裝置和原料氣體供給方法

有效

• 申請號: 201611095814.3
• 申請日: 2016-12-02
• 公開（公告）號: CN106987824B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 八木宏憲;諸井政幸
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種原料氣體供給裝置，其使原料容器內的固體或液體原料氣化而與載氣一起作為原料氣體經由原料氣體供給通路供給至對基板進行成膜處理的成膜處理部，所述原料氣體供給裝置的特征在于，包括：

用于對所述原料容器供給載氣的載氣供給通路；

從所述載氣供給通路分支，繞過所述原料容器與原料氣體供給通路連接的旁通流路；

與所述原料氣體供給通路中的比所述旁通流路的連接部位靠下游側的位置連接，用于使稀釋氣體與原料氣體合流的稀釋氣體供給通路；

與所述載氣供給通路和所述稀釋氣體供給通路分別連接的第一質量流量控制器和第二質量流量控制器；

設置于所述原料氣體供給通路中的稀釋氣體供給通路的合流部位的下游側的質量流量計；

將從所述載氣供給通路至原料氣體供給通路的載氣流路在所述原料容器內與旁通流路之間進行切換的切換機構；和

控制部，其執行下述步驟：

在將所述載氣流路切換至所述原料容器內的狀態下，將原料氣體與載氣和稀釋氣體一起供給至所述成膜處理部內的基板的原料供給步驟；和

從新的原料容器內的原料的填充量減去包含基于所述原料供給步驟時的原料氣體的實際流量所計算的原料的消耗量的累積消耗量，從而求取原料容器的剩余量的剩余量計算步驟，

在令所述第一質量流量控制器、第二質量流量控制器和質量流量計的流量的各測定值分別為m1、m2和m3時，利用以下的步驟求取所述原料氣體的實際流量，所述步驟為：

在將所述載氣流路切換至旁通流路側的狀態下，使載氣和稀釋氣體流通而求取作為(m3－(m1+m2))的計算值的偏差值的步驟；和

在將所述載氣流路切換至原料容器側的狀態下，使載氣和稀釋氣體流通而求取(m3－(m1+m2))的計算值，從該計算值減去所述偏差值而求取原料的流量的實測值的步驟。

2.如權利要求1所述的原料氣體供給裝置，其特征在于：

所述控制部實施：在對批次中的最先的基板進行成膜處理之前，在將所述載氣流路切換至原料容器側的狀態下，將載氣和稀釋氣體供給至成膜處理部的虛擬供給步驟，

所述剩余量計算步驟中的累積消耗量包含基于虛擬供給步驟中的原料氣體的實際流量所計算出的原料的消耗量。

3.如權利要求1或2所述的原料氣體供給裝置，其特征在于：

所述控制部實施：在對基板進行成膜處理之前，在將所述載氣流路切換至原料容器側的狀態下，將載氣和稀釋氣體供給至成膜處理部，在成膜處理部的內表面形成使原料氣體和反應氣體發生反應而得到的反應生成物的層的預涂敷步驟，

所述剩余量計算步驟中的累積消耗量包含基于預涂敷步驟中的原料氣體的實際流量所計算出的原料的消耗量。

4.如權利要求1或2所述的原料氣體供給裝置，其特征在于：

在所述成膜處理部進行的成膜處理是對基板交替地供給原料氣體和與原料氣體反應的反應氣體，在原料氣體的供給與反應氣體的供給之間供給置換用的氣體而進行的成膜處理，

將所述載氣流路切換至原料容器側的狀態下，使載氣和稀釋氣體流通而求取(m3－(m1+m2))的計算值的步驟中的測定值m1、m2和m3，是令原料氣體的供給、停止的周期為T時，n個周期的流量的積分值除以周期T而得到的值，其中，n為1以上的整數。

5.如權利要求4所述的原料氣體供給裝置，其特征在于：

所述控制部在對基板的批次中的最先的基板進行處理之前，從該批次的處理方案讀取原料氣體的供給、停止的周期T，

將所述載氣流路切換至旁通流路側的狀態下，使載氣和稀釋氣體流通而求取作為(m3－(m1+m2))的計算值的偏差值的步驟中的測定值m1、m2和m3是n個周期的流量的積分值除以周期T而得到的值。