[發明專利]彈性波裝置

有效

• 申請號: 201611095317.3
• 申請日: 2016-12-01
• 公開（公告）號: CN107026633B
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 龜岡義宣
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 趙琳琳

本發明提供一種難以產生IDT電極彼此相鄰的部分處的匯流條的形成不良、并且能夠促進小型化的彈性波裝置。本發明所涉及的彈性波裝置具備：壓電基板(2)；和多個彈性波元件，構成于壓電基板(2)，分別具有IDT電極。多個彈性波元件之中，第1彈性波元件的IDT電極具有第1、第2匯流條(9a、9b)，第2彈性波元件的IDT電極具有第3、第4匯流條(9c、9d)。第2匯流條(9b)與第3匯流條(9c)大致平行地延伸，并且在垂直于彈性波傳播方向的方向上隔開間隙而被配置。第2、第3匯流條(9b、9c)具有：第1電極層、和至少一部分在該第1電極層上層疊的第2電極層。第2匯流條(9b)的第2電極層在至少1個部位，在與彈性波傳播方向交叉的方向上被斷開。

技術領域

本發明涉及彈性波裝置。

背景技術

以往，彈性波裝置被廣泛用于移動電話的濾波器等。在下述的專利文獻1中，表示了具有IDT電極的彈性波裝置的一個例子。上述IDT電極的匯流條具有：下層布線、和層疊在下層布線上的上層布線。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2002-100952號公報

近年來，為了應對彈性波裝置的進一步的小型化要求，隨著彈性波諧振器在垂直于彈性波傳播方向的方向上相互更進一步接近地配置，相鄰的IDT電極的匯流條間的距離變短。另一方面，在梯子型濾波器等中，為了提高濾波器特性，彈性波諧振器的IDT電極的沿著彈性波傳播方向的尺寸變大，匯流條也變長。因此，若將專利文獻1的具有采用2層匯流條的橫長的IDT電極的彈性波諧振器接近配置，則容易產生匯流條的形成不良，此外，相互的匯流條彼此可能短路。因此，難以將IDT電極彼此充分接近配置，不能充分實現彈性波裝置的小型化。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種難以產生IDT電極彼此相鄰的部分處的匯流條的形成不良、并且能夠促進小型化的彈性波裝置。

本發明所涉及的彈性波裝置具備：壓電基板；和多個彈性波元件，構成于所述壓電基板，分別具有IDT電極，所述多個彈性波元件之中，第1彈性波元件的所述IDT電極具有對置的第1、第2匯流條，第2彈性波元件的所述IDT電極具有對置的第3、第4匯流條，所述第2匯流條與所述第3匯流條大致平行地延伸，并且在垂直于彈性波傳播方向的方向上隔開間隙而被配置，所述第2、第3匯流條具有：第1電極層、和至少一部分在該第1電極層上層疊的第2電極層，所述第2匯流條的所述第2電極層在至少1個部位，在與彈性波傳播方向交叉的方向上被斷開。

在本發明所涉及的彈性波裝置的某個特定的方面，所述第2匯流條的所述第2電極層在垂直于彈性波傳播方向的方向上被斷開。

在本發明所涉及的彈性波裝置的另一特定的方面，所述第3匯流條的所述第2電極層在至少1個部位，在與彈性波傳播方向交叉的方向上被斷開。在該情況下，進一步難以產生第2、第3匯流條的形成不良。

在本發明所涉及的彈性波裝置的又一特定的方面，所述第3匯流條的所述第2電極層在垂直于彈性波傳播方向的方向上被斷開。

在本發明所涉及的彈性波裝置的其它特定的方面，在從所述第2匯流條的所述第2電極層被斷開的部分開始的、所述第2匯流條的所述第2電極層被斷開的方向的延長線上，所述第3匯流條的所述第2電極層被斷開。

在本發明所涉及的彈性波裝置的另外其它特定的方面，所述多個彈性波元件包含串聯臂諧振器以及多個并聯臂諧振器，所述第1、第2彈性波元件均為所述并聯臂諧振器。在該情況下，即使加長并聯臂諧振器的彈性波傳播方向上的長度，也難以產生并聯臂諧振器的匯流條的形成不良。因此，能夠提高彈性波裝置的濾波器特性，并且能夠進一步促進小型化。