[發明專利]波束形成光學系統、和直接成像系統

有效

• 申請號: 201611093983.3
• 申請日: 2012-08-16
• 公開（公告）號: CN106886097B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: S.海涅曼;W.雷徹克;H.瓦格納;J.伯格夫;A.格羅斯
• 申請（專利權）人: 奧寶科技有限公司;雷射影像系統有限責任公司
• 主分類號: G02F1/11
• 分類號: G02F1/11;H04N1/04
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉媛媛

1.一種波束形成光學系統，包括：

照明單元，包括被配置為發射多個波束的多個光源，所述多個光源至少包括四個激光二極管；

光學裝置，被配置為將所述多個波束全部傳送到單個聲光調制器AOM上；

所述單個聲光調制器，被定位成接收通過所述光學裝置傳送的并且以位置或角度之一對準的所述多個波束的全部，并且

所述單個聲光調制器包括一組信道，每個信道被配置為對入射到其上的所述多個波束的全部的一部分進行調制，并且被配置為當聲波沿著所述信道在聲方向中傳播時相繼地對所述多個波束中的與所述信道相關聯的部分進行衍射，使得所有波束都曝光在曝光平面上的相同焦斑上。

2.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述照明單元包括被安排在單行中的多個光源。

3.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述照明單元包括被安排在第一行中的第一多個光源和被安排在第二行中的第二多個光源，該第二行與所述第一行平行。

4.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述光學裝置被配置為使從所述照明單元輸出的所述多個波束準直和對準，從而所述多個波束的每個在與AOM的聲方向垂直的方向上延伸。

5.根據權利要求4的波束形成光學系統，

其中，所述多個波束形成安排在所述聲方向的并行波束陣列，其中，所述多個波束的每個在垂直于所述聲方向的方向上成形，以填充所述AOM的孔徑。

6.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述光學裝置被配置為將從所述照明單元輸出的所述多個波束安排為使得它們在所述AOM的孔徑的平面上彼此重疊。

7.根據權利要求6的波束形成光學系統，

其中，所述多個波束形成在包括所述AOM的聲方向和與所述聲方向垂直的方向的平面上安排的波束陣列，從而所述多個波束的全部在所述AOM的孔徑的平面上彼此重疊，而所述多個波束的每個被成形在所述AOM的聲方向和與所述AOM的聲方向垂直的方向二者中，以填充所述AOM的孔徑。

8.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述AOM包括單晶體，該單晶體調制多個入射波束的全部。

9.根據權利要求1的波束形成光學系統，

其中，所述波束形成光學系統還包括掃描元件，所述掃描元件適于以掃描速度、利用所述單個聲光調制器所調制的多個波束來掃描所述曝光平面，其中將該掃描速度選擇為所述多個波束的不同部分不相干地聯合為單一曝光焦斑。

10.一種波束形成光學系統，包括：

照明單元，包括多個光源，該多個光源被配置為發射實際上相同波長的多個波束；

光學裝置，被配置為將所述多個波束全部傳送到單個聲光調制器AOM上；

所述單個聲光調制器，被定位成接收通過所述光學裝置傳送的并且以位置或角度之一對準的所述多個波束的全部，并且

所述單個聲光調制器包括一組信道，每個信道被配置為對入射到其上的所述多個波束的全部的一部分進行調制，并且被配置為當聲波沿著所述信道在聲方向中傳播時相繼地對所述多個波束中的與所述信道相關聯的部分進行衍射，使得所有波束都曝光在曝光平面上的相同焦斑上。

11.根據權利要求10的波束形成光學系統，

其中，所述波束形成光學系統還包括掃描元件，所述掃描元件適于以掃描速度、利用所述單個聲光調制器所調制的多個波束來掃描所述曝光平面，其中將該掃描速度選擇為所述多個波束的不同部分不相干地聯合為單一曝光焦斑。