[發明專利]應用于量測的雙球桿系統及其誤差補償方法有效
| 申請號： | 201611091440.8 | 申請日： | 2016-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN106885511B | 公開（公告）日： | 2020-01-31 |
| 發明（設計）人： | 雷衛臺 | 申請（專利權）人： | 雷衛臺 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 11006 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應用于 球桿 系統 及其 誤差 補償 方法 | ||
1.一種應用于量測的雙球桿系統，其特征在于，包含：
一校正單元，設有至少二個球支撐件，且各該球支撐件相距一參考中心距離；
至少一雙球桿為參考雙球桿，其二端設于二該球支撐件，該參考雙球桿隨一環境溫度變化而具有一熱誤差位移；
至少一雙球桿為工作雙球桿，裝設于一目標裝置，且該工作雙球桿受該目標裝置帶動而具有一位移感測值；以及
一量測模塊，量測該位移感測值，計算該工作雙球桿的一中心距離，且依據該熱誤差位移補償該中心距離。
2.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，所述球支撐件為磁性球窩。
3.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該校正單元采用或石英玻璃為材料。
4.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，各該球支撐件與對應的該端為三點接觸。
5.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，各該球支撐件以定位銷或定心錐面固定于該校正單元。
6.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該球支撐件的數量大于等于四。
7.根據權利要求6所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿的數量大于等于二。
8.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該工作雙球桿的數量大于等于二。
9.根據權利要求8所述的雙球桿系統，其特征在于，該校正單元的傾斜角度為各該工作雙球桿與一水平面的夾角角度的平均值。
10.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿或該工作雙球桿包含一讀頭桿組件、一尺桿組件，該讀頭桿組件與該尺桿組件分別包含一導軌座，且二該導軌座分別具有至少一滾動軸承，該讀頭桿組件與該尺桿組件連接相異的該滾動軸承而相互滾動導引。
11.根據權利要求10所述的雙球桿系統，其特征在于，該讀頭桿組件以及該尺桿組件分別包含相互平行的至少一管件，且所述管件線性展收以導引該讀頭桿組件以及該尺桿組件。
12.根據權利要求11所述的雙球桿系統，其特征在于，該讀頭桿組件以及該尺桿組件包含相互平行的多個管件，其中至少二管件為導引管件。
13.根據權利要求11或12所述的雙球桿系統，其特征在于，所述管件采用殷鋼、或石英玻璃為材料。
14.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿或該工作雙球桿為光學尺雙球桿或磁性尺雙球桿。
15.根據權利要求14所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿或該工作雙球桿的光學尺或磁性尺采用殷鋼、或石英玻璃為材料。
16.根據權利要求15所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿或該工作雙球桿包含一尺桿組件，該尺桿組件包含一撓性結構以及一球基座，且該光學尺或磁性尺一末端透過該撓性結構以及該球基座固定于該尺桿組件。
17.根據權利要求1所述的雙球桿系統，其特征在于，該工作雙球桿的數量大于等于六。
18.根據權利要求17所述的雙球桿系統，其特征在于，該球支撐件的數量大于等于四。
19.根據權利要求17或18所述的雙球桿系統，其特征在于，該參考雙球桿的數量等于二。
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