[發明專利]一種磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置在審
| 申請號： | 201611091074.6 | 申請日： | 2016-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN108126960A | 公開（公告）日： | 2018-06-08 |
| 發明（設計）人： | 季文明;劉源 | 申請（專利權）人： | 上海新昇半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/045 | 分類號： | B08B9/045;B08B9/043;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 劉星 |
| 地址： | 201306 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 收容腔體 刮刀 尾氣處理裝置 硅化物顆粒 主動磁鐵 收容腔 被動磁鐵 體內 內側壁 磁控 去除 磁力控制 電機驅動 高純氮氣 密封性能 影響管線 進氣管 密封性 噴淋頭 出水 附著 刮除 噴淋 連通 尾氣 鑲嵌 驅動 外部 | ||
1.一種磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于，包括：
第一收容腔體；
第二收容腔體，連接于所述第一收容腔體下方，并與所述第一收容腔體連通；
進氣管，連接于所述第一收容腔體，用于向所述第一收容腔體內輸入尾氣；
刮刀，設于所述第一收容腔體內；
被動磁鐵，鑲嵌于所述刮刀內；
主動磁鐵，設于所述第一收容腔體外，用于驅動所述被動磁鐵，使所述刮刀沿第一收容腔體內側壁運動，以刮除附著在所述第一收容腔體內側壁上的硅化物顆粒；
噴淋頭，設于所述第二收容腔體內，用于噴淋出水，使由所述第一收容空腔體進入所述第二收容腔體的尾氣與水反應，并將反應生成的硅化物顆粒沖入所述第二收容腔體。
2.根據權利要求1所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述刮刀為條形，縱向設置于所述第一收容腔體內；所述刮刀上端通過一彎折部與設置于所述第一收容腔體頂部的軸承連接。
3.根據權利要求2所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述第一收容腔體為圓柱形，所述軸承設于所述第一收容腔體的頂部中心，所述彎折部的橫向寬度大致等于所述第一收容腔體的半徑。
4.根據權利要求2所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述刮刀的長度大于所述第一收容腔體高度的一半。
5.根據權利要求2所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述進氣管設置于所述第一收容腔體側壁上。
6.根據權利要求1所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述刮刀首尾相接，水平設置于所述第一收容腔體內，在所述主動磁鐵的帶動下上下移動。
7.根據權利要求6所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述第一收容腔體為圓柱形；所述刮刀為圓環形，在上下移動的同時還可以在所述主動磁鐵的帶動下水平旋轉。
8.根據權利要求6所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述刮刀的縱截面寬度自上而下先逐漸增大再逐漸減小。
9.根據權利要求6所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述進氣管設置于所述第一收容腔體頂部。
10.根據權利要求1所述的磁控去除硅化物顆粒的尾氣處理裝置，其特征在于：所述刮刀的材質包括聚四氟乙烯。
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