[發明專利]感光性樹脂組成物及含其的干膜光阻有效
| 申請號： | 201611091034.1 | 申請日： | 2016-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN108020988B | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發明（設計）人： | 陳嘉祈;吳允中;杜安邦;黃坤源 | 申請（專利權）人： | 長春人造樹脂廠股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/027 | 分類號： | G03F7/027;G03F7/09;C07C271/16 |
| 代理公司： | 北京天平專利商標代理有限公司 11239 | 代理人： | 孫剛 |
| 地址： | 中國臺灣臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組成 干膜光阻 | ||
1.一種感光性樹脂組成物，包含(a)不飽和單羧酸、(b)羥基氨基甲酸酯及(c)光起始劑；其中該(b)羥基氨基甲酸酯為含不飽和雙鍵的羥基氨基甲酸酯聚醚化合物，并具有如下式(I)：
其中，n為0～10的整數；
R1為如下式(II)～(IV)的混合：
R4為C4-C12亞烷基單元、亞烯基單元、亞炔基、環烷基、聚醚基團或下列式(V)：
其中，m為0～5的整數，且
R5選自下列結構式：
R2為C4-C12亞烷基單元、環烷基、芳香基、聚醚基團或烯胺基；
R3-1～R3-4彼此獨立相同或不同，為氫、C4-C12烷基、烯基、環烷基、芳香基或聚醚基團，其中R3-1～R3-4中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不飽和雙鍵基團。
2.如權利要求1的感光性樹脂組成物，其特征在于，該(b)羥基氨基甲酸酯的制備配方具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.9，其中[CC]為環碳酸酯摩爾數，[NH2]為胺摩爾數。
3.如權利要求2的感光性樹脂組成物，其特征在于，該(b)羥基氨基甲酸酯的制備配方具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.75，其中[CC]為環碳酸酯摩爾數，[NH2]為胺摩爾數。
4.如權利要求1的感光性樹脂組成物，其特征在于，該(b)羥基氨基甲酸酯的制備配方具有[EPOXY]/[AHEW]介于0.125～1，其中[EPOXY]為環氧基當量，[AHEW]為胺氫當量。
5.如權利要求1的感光性樹脂組成物，其特征在于，進一步包含一溶劑。
6.如權利要求5的感光性樹脂組成物，其特征在于，該溶劑為一或多種選自由醇類、醚類及酮類所組成的群組。
7.如權利要求1的感光性樹脂組成物，其特征在于，相對于100質量份該(a)不飽和單羧酸，該(b)羥基氨基甲酸酯為5～50質量份。
8.如權利要求1的感光性樹脂組成物在作為光阻涂料中的應用。
9.一種干膜光阻，包含蓋膜層、如權利要求1至8的任一項的感光性樹脂組成物所形成的感光阻劑層，以及隔膜層。
10.一種羥基氨基甲酸酯聚醚化合物，具有如下式(I)的結構：
其中，n為0～10的整數；
R1為如下式(II)～(IV)的混合：
R4為C4-C12的亞烷基單元、亞烯基單元、亞炔基、環烷基、聚醚基團或下列式(V)：
其中，m為0～5的整數，且
R5選自下列結構式：
R2為C4-C12亞烷基、環烷基、芳香基、聚醚基團或烯胺基；
R3-1～R3-4彼此獨立相同或不同，為氫、C4-C12烷基、烯基、環烷基、芳香基或聚醚基團，其中R3-1～R3-4中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不飽和雙鍵基團。
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