[發(fā)明專利]一種工件臺(tái)移位裝置和光刻機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611086178.8
• 申請(qǐng)日: 2016-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108121167B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 叢國(guó)棟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

本發(fā)明提供一種工件臺(tái)移位裝置和光刻機(jī)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述工件臺(tái)移位，所述工件臺(tái)包括曝光臺(tái)和線纜臺(tái)，所述工件臺(tái)移位裝置包括曝光臺(tái)移位裝置和線纜臺(tái)移位裝置，其中，所述曝光臺(tái)移位裝置安裝在所述線纜臺(tái)上，并帶動(dòng)所述曝光臺(tái)X方向移動(dòng)；所述線纜臺(tái)移位裝置安裝在平衡質(zhì)量上，并帶動(dòng)所述線纜臺(tái)Y方向移動(dòng)。本發(fā)明還提供一種帶有工件臺(tái)移位裝置的光刻機(jī)。采用本發(fā)明提出的一種工件臺(tái)移位裝置，預(yù)先將曝光臺(tái)、線纜臺(tái)移位至中間位置，即可實(shí)現(xiàn)曝光臺(tái)對(duì)干涉儀的避讓，這樣工件臺(tái)的可利用尺寸得到增大，整體剛度得到大幅提升。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及工件臺(tái)領(lǐng)域，特別涉及一種工件臺(tái)移位裝置和光刻機(jī)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的基于干涉儀測(cè)量的工件臺(tái)為氣浮形式，曝光臺(tái)氣浮支撐在底部框架上，而平衡質(zhì)量位于底部框架兩側(cè)。這樣的布局形式，使得工件臺(tái)在移入移出維修維護(hù)時(shí)，可下降足夠距離使得曝光臺(tái)不碰撞干涉儀，并且可保持工件臺(tái)的整體剛度滿足要求。但對(duì)于基于干涉儀測(cè)量的磁浮工件臺(tái)，由于曝光臺(tái)磁浮在平衡質(zhì)量之上，如果同樣采取單純的靠工件臺(tái)下降以使曝光臺(tái)避讓干涉儀的方式，需要工件臺(tái)的下降幅度較大，會(huì)造成曝光臺(tái)、平衡質(zhì)量、底部框架的垂向尺寸被大大壓縮，工件臺(tái)整體剛度大幅降低。

發(fā)明內(nèi)容

為了彌補(bǔ)現(xiàn)有的技術(shù)缺陷，本發(fā)明提出一種工件臺(tái)移位裝置和光刻機(jī)，實(shí)現(xiàn)曝光臺(tái)對(duì)干涉儀的避讓，使工件臺(tái)的整體剛度得到大幅提升。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種工件臺(tái)移位裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述工件臺(tái)移位，所述工件臺(tái)包括曝光臺(tái)和線纜臺(tái)，其特征在于，所述工件臺(tái)移位裝置包括曝光臺(tái)移位裝置和線纜臺(tái)移位裝置，其中，所述曝光臺(tái)移位裝置安裝在所述線纜臺(tái)上，并帶動(dòng)所述曝光臺(tái)X方向移動(dòng)；所述線纜臺(tái)移位裝置安裝在平衡質(zhì)量上，并帶動(dòng)所述線纜臺(tái)Y方向移動(dòng)。

可選地，所述曝光臺(tái)移位裝置包括第一驅(qū)動(dòng)裝置和限位裝置，所述曝光臺(tái)通過(guò)限位裝置與線纜臺(tái)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置安裝在限位裝置上并驅(qū)動(dòng)所述曝光臺(tái)在所述限位裝置中移動(dòng)。

可選地，所述限位裝置包括防轉(zhuǎn)銷和防轉(zhuǎn)臂，其中，所述防轉(zhuǎn)臂與所述線纜臺(tái)連接且沿X向設(shè)置，且所述防轉(zhuǎn)臂上設(shè)有滑槽，所述防轉(zhuǎn)銷一端固定在曝光臺(tái)上，另一端插設(shè)在所述滑槽內(nèi)。

可選地，所述防轉(zhuǎn)銷數(shù)量為2個(gè)以上。

可選地，所述防轉(zhuǎn)銷采用減摩材料制成。

可選地，所述防轉(zhuǎn)銷采用滾動(dòng)軸承。

可選地，所述滑槽內(nèi)臂采用減摩材料。

可選地，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一傳動(dòng)裝置和第一擋塊，其中，所述第一擋塊設(shè)置在所述滑槽內(nèi)并與所述第一傳動(dòng)裝置連接，所述第一擋塊驅(qū)動(dòng)所述防轉(zhuǎn)銷沿X向滑動(dòng)。

可選地，所述第一傳動(dòng)裝置是帶輪傳動(dòng)裝置，包括第一同步帶和第一帶輪組，所述第一同步帶圍設(shè)在所述第一帶輪組上形成帶輪傳動(dòng)，所述第一同步帶和第一擋塊連接，所述第一帶輪組沿X軸安裝在防轉(zhuǎn)臂側(cè)面。

可選地，所述第一同步帶繞Y軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

可選地，所述第一傳動(dòng)裝置還包括連接塊，其中，所述連接塊的一端和第一同步帶連接，另一端和第一擋塊連接。

可選地，所述第一同步帶繞Z軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

可選地，所述第一同步帶穿過(guò)所述防轉(zhuǎn)銷后與所述擋塊連接。

可選地，所述第一擋塊設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述第一擋塊分別位于所述防轉(zhuǎn)銷兩側(cè)。

可選地，所述第一傳動(dòng)裝置是連桿結(jié)構(gòu)裝置、鏈傳動(dòng)裝置或者絲杠傳動(dòng)裝置。

可選地，所述第一擋塊由減摩材料制成。

可選地，所述第一擋塊采用滾動(dòng)軸承。