[發明專利]一種偏振無關寬帶反射光柵

在審

• 申請號: 201611079900.5
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN108121022A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 徐建衛
• 申請（專利權）人: 上海矽越光電科技有限公司
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 鄧文武

1.一種偏振無關寬帶反射光柵，包括基底（1），基底（1）上依次設置有金屬層（2），第一薄膜層（3）和第二薄膜層（4），所述第二薄膜層（4）上刻蝕有矩形光柵，所述矩形光柵包括外層光柵（5）、中間層光柵（6）和內層光柵（7），所述光柵周期為1-1.18μm，所述光柵的刻蝕深度為1.12-1.34μm，中間層光柵（6）的厚度為0.52-0.74μm。

2.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述第一薄膜層（3）為二氧化硅薄膜，所述第二薄膜層（4）為高折射率薄膜。

3.如權利要求2所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述第二薄膜層（4）為氮化硅薄膜。

4.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述第一薄膜層（3）的厚度為0.23-0.27μm。

5.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述第二薄膜層（4）的厚度為0.2-0.24μm。

6.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述基底（1）為硅片，金屬片或陶瓷片。

7.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述金屬層（2）為金、銀、鋁或銅層。

8.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述外層光柵（5）、中間層光柵（6）和內層光柵（7）的厚度分別為0.4μm，0.6μm和0.2μm。

9.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述反射光柵的占空比為0.55-0.61。

10.如權利要求1所述的偏振無關寬帶反射光柵，其特征在于，所述外層光柵（5）、內層光柵（7）均為二氧化硅薄膜，所述中間層光柵（6）的材質為五氧化二鉭、氮化硅或氧化鉿。