[發明專利]一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置及方法

有效

• 申請號: 201611076507.0
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN106622716B
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 宗堅
• 申請（專利權）人: 江蘇菲沃泰納米科技有限公司
• 主分類號: B05B5/10
• 分類號: B05B5/10;B05B5/08
• 代理公司: 大連理工大學專利中心21200
• 代理人: 梅洪玉

1.一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：在主真空室(1)壁上安裝多個放電腔(2)，在每個放電腔(2)通往主真空室(1)的開口處安裝一個平面接地柵網(3)，在每個放電腔(2)內靠近柵網(3)處安裝多孔電極板(4)，多孔電極板(4)與柵網(3)平行并保持間隙，多孔電極板(4)通過絕緣支架(10)固定在放電腔(2)壁上，多孔電極板(4)通過導線(11)連接小功率高頻電源(5)，多孔電極板(4)上均勻分布通孔，載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)分別連接到每個放電腔(2)內，載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)另一端分別連接到載體氣體源和單體蒸汽源，真空排氣管(8)連接到主真空室(1)內，真空排氣管另一端連接到真空泵，待處理的基材(9)放在主真空室(1)內部，且位于放電腔(2)外部。

2.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述放電腔(2)為圓筒形，材質為金屬，其直徑范圍是深度為30-150mm。

3.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述放電腔(2)相鄰軸線之間的間距為70～400mm。

4.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述多孔電極板(4)與所述柵網(3)之間的間隙小于8mm。

5.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述多孔電極板(4)上分布的通孔直徑是1～10mm，孔間距1～10mm。

6.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的小功率高頻電源(5)功率為5～100W，頻率為20kHz～300MHz。

7.根據權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的真空排氣管(8)連接到主真空室(1)上與放電腔(2)相對的內壁上。

8.一種如權利要求1所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層裝置進行涂層的方法，其特征在于：主要包括以下步驟：

(1)、在真空室(1)內放置待處理的基材(9)，開啟真空泵將真空室(1)內真空度抽到1Pa以下；

(2)、開啟載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)，通入載體氣體和單體蒸汽，維持真空室(1)內的真空度為2-30Pa；

(3)、開啟小功率高頻電源(5)，多孔電極板對放電腔壁放電，單體蒸汽發生聚合，聚合產物在載體氣流帶動下先后穿過多孔電極板上的小孔和柵網進入真空室并沉積在基材表面形成聚合物涂層。

9.根據權利要求8所述的一種多源小功率低溫等離子體聚合涂層方法，其特征在于：所述載體氣體為氬氣或氦氣中的一種或兩種混合物。