[發明專利]一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置及方法

在審

• 申請號: 201611076332.3
• 申請日: 2016-11-30
• 公開（公告）號: CN106622891A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 宗堅
• 申請（專利權）人: 無錫榮堅五金工具有限公司
• 主分類號: B05D1/00
• 分類號: B05D1/00;B05D3/06;B05C9/00
• 代理公司: 大連理工大學專利中心21200
• 代理人: 梅洪玉

1.一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：在真空室(1)內安裝有等離子體源(2)，在真空室(1)內遠離等離子體源的區域內安裝紫外光源(3)的陣列，載體氣體管路(4)連接到真空室內的靠近等離子體源(2)一側，載體氣體管路另一端連接載體氣體源，單體蒸汽管路(5)連接到真空室內等離子體源前方，單體蒸汽管路另一端連接單體蒸汽源；真空排氣管(6)連接到真空室(1)內遠離等離子體源(2)的一側；真空排氣管另一端連接到真空泵，待處理的基材(7)放在真空室(1)內。

2.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的等離子體源(2)是電極或感應線圈或微波天線中的一種，所述的等離子體源(2)的放電功率為5-1000W。

3.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的等離子體源(2)能夠連續或斷續工作，等離子體源(2)斷續工作時，放電時間為2-100μs，放電中斷時間為1-100ms。

4.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的紫外光源(3)相鄰之間間隔10cm-50cm，且距離等離子體源20cm-80cm。

5.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的紫外光源(3)是紫外燈或紫外發光二極管中的一種。

6.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的紫外光源(3)的波長范圍為180-380nm，紫外光源(3)的功率為0.1-200W。

7.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的紫外光源(3)能夠連續或斷續發光，紫外光源(3)斷續發光時，發光時間為1μs–1s，發光中斷時間為10μs–10s。

8.根據權利要求1所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述的單體蒸汽管路(5)距離等離子體源(2)為5-30cm。

9.一種如權利要求1所述的紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層裝置進行表面涂層的方法，其特征在于：主要包括以下步驟：

(1)、在真空室(1)內放置待處理的基材(7)，開啟真空泵將真空室(1)內真空度抽到1Pa以下；

(2)、通入載體氣體和單體蒸汽，維持真空室(1)內的真空度為2-30Pa；

(3)、開啟等離子體源(2)放電產生等離子體，同時開啟紫外光源(3)，單體蒸汽在等離子體和紫外輻照雙重作用下發生聚合并沉積在基材表面形成涂層。

10.根據權利要求9所述的一種紫外輻照輔助等離子體聚合表面涂層方法，其特征在于：所述步驟(2)中的載體氣體為氦氣或氬氣中的一種或兩種的混合物。