[發(fā)明專利]一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611076261.7 | 申請日： | 2016-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN106733264A | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宗堅(jiān) | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司 |
| 主分類號： | B05B5/08 | 分類號： | B05B5/08;B05B15/12 |
| 代理公司： | 大連理工大學(xué)專利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 江蘇省無錫市惠*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 管狀 容積 等離子體 聚合 涂層 裝置 | ||
1.一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：真空室(1)為管狀，真空室(1)的內(nèi)壁上安裝有電極(2)和導(dǎo)軌(3)，其中電極(2)為柱面形，位于與真空室(1)同軸的柱面上，電極(2)分開為至少兩部分，留出的空隙安裝導(dǎo)軌(3)，電極(2)與導(dǎo)軌(3)不接觸；治具(4)安裝在導(dǎo)軌(3)上，與真空室(1)同軸，待處理的基材(5)裝在治具(4)內(nèi)，真空室(1)的頂部沿軸向間隔設(shè)置載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7)，真空室(1)的底部沿軸向間隔設(shè)置真空排氣管路(8)，真空室(1)的兩端安裝真空室門(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的真空室(1)的內(nèi)徑為30-80cm，長度為0.5-10m。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的電極(2)與真空室(1)內(nèi)壁之間的間隙為10-60mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的電極上布滿通孔，孔徑為2-30mm，孔間隔為2-30mm，電極的材質(zhì)為鋁或不銹鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的每相鄰兩個(gè)載體氣體管路(6)之間的間隔為30-80cm，所述每相鄰兩個(gè)單體蒸汽管路(7)之間的間隔為30-80cm，所述每相鄰兩個(gè)真空排氣管路(8)之間的間隔為30-80cm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置，其特征在于：所述的治具(4)為金屬或塑料制成的筒狀籠子。
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