[發(fā)明專利]半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的鐘擺閥鎖環(huán)組件及其鎖環(huán)手柄延長(zhǎng)治具在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201611075499.8 | 申請(qǐng)日： | 2016-11-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106523780A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊保勛;季高明;劉東升;呂煜坤;朱駿;張旭升 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F16K35/00 | 分類號(hào)： | F16K35/00;F16K31/60 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 刻蝕 設(shè)備 鐘擺 閥鎖環(huán) 組件 及其 手柄 延長(zhǎng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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