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[發明專利]基于亞波長光柵的諧振增強型紫外光探測器及制備方法有效

專利信息
申請號: 201611074873.2 申請日: 2016-11-28
公開(公告)號: CN106684198B 公開(公告)日: 2019-02-01
發明(設計)人: 范鑫燁;白成林;張霞;房文敬;王歡歡;王秋國 申請(專利權)人: 聊城大學
主分類號: H01L31/09 分類號: H01L31/09;H01L31/18;H01L31/0232
代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 代理人: 湯財寶
地址: 252000 山東省聊*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 波長 光柵 諧振 增強 紫外光 探測器 制備 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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