[發明專利]一種含氟清洗液

有效

• 申請號: 201611070472.X
• 申請日: 2016-11-29
• 公開（公告）號: CN108121175B
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 何春陽;趙鵬;劉兵
• 申請（專利權）人: 安集微電子科技（上海）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京大成律師事務所 11352
• 代理人: 李佳銘

1.一種用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，含有以下組分及含量：

其中，所述氟化物包括氟化氫(HF)、氟化銨(NH₄F)、氟化氫銨(NH₄HF₂)、四甲基氟化銨(N(CH₃)₄F)和三羥乙基氟化銨(N(CH₂OH)₃HF)中的一種或多種；

所述肼及其衍生物包括肼基甲酸甲酯、對肼基苯甲酸、肼基甲酸芐酯、肼基甲酸乙酯、肼基甲酸叔丁酯、硫酸肼、乙酰肼、甲酰肼、苯甲酰肼、草酰二肼、二甲酰肼、煙酸酰肼、碳酸二酰肼、苯磺酰肼、2-羥乙基肼、N-乙酰苯肼、對甲苯磺酰肼、鄰苯二甲酰肼、順丁烯二酰肼、4-羥基苯甲酰肼中的一種或多種。

2.如權利要求1所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述溶劑包括亞砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、酰胺和醚中的一種或多種。

3.如權利要求2所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述亞砜包括二甲基亞砜、二乙基亞砜和甲乙基亞砜中的一種或多種；所述咪唑烷酮包括2-咪唑烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮和1,3-二乙基-2-咪唑烷酮中的一種或多種；所述吡咯烷酮包括N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-環己基吡咯烷酮和N-羥乙基吡咯烷酮中的一種或多種；所述醚包括丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丁醚和三丙二醇單甲醚中的一種或多種。

4.如權利要求1所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述有機胺包括含羥基、氨基和羧基的有機胺中的一種或多種。

5.如權利要求4所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述含羥基的有機胺為醇胺；所述含氨基的有機胺為有機多胺；所述含羧基的有機胺為含氨基的有機酸。

6.如權利要求1所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述有機胺包括乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺和N-甲基二乙醇胺，二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺和多乙烯多胺，2-氨基乙酸、2-氨基苯甲酸、亞氨基二乙酸，氨三乙酸和乙二胺四乙酸中的一種或多種。

7.如權利要求1所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述有機胺包括五甲基二乙烯三胺、亞氨基二乙酸和三乙醇胺中的一種或多種。

8.如權利要求1所述用于高轉速單片旋轉式清洗方式的含氟清洗液，其特征在于，所述肼及其衍生物的質量百分比含量為0.05-5％。