[發明專利]基板清潔干燥裝置及其節能方法

有效

• 申請號: 201611069560.8
• 申請日: 2016-11-28
• 公開（公告）號: CN106526916B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 蘇彥熒
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種基板清潔干燥裝置及其節能方法，該基板清潔干燥裝置的進料口處設有傳感器，該傳感器在進料口處有基板進入和無基板進入時能夠感應到不同的感應信號，通過將該不同的感應信號提供給中央處理器，中央處理器即可判定是否有基板進入進料口，并在有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入進料口時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉，從而在不影響基板清潔干燥裝置正常工作的前提下，使基板清潔干燥裝置空閑時增壓泵的轉速降低，降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

技術領域

本發明涉及顯示器制造技術領域，尤其涉及一種基板清潔干燥裝置及其節能方法。

背景技術

平面顯示器件具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用?，F有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發光二極管顯示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

以液晶顯示器為例，其通常由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶體管基板(Thin Film Transistor，TFT)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封膠框(Sealant)組成，其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運動；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合，進而驅動液晶分子轉動，顯示圖像。

在液晶顯示器等平面顯示器件在制作過程中，經常需要對基板進行清潔干燥，去除基板上雜質，保證制程的質量，目前的基板清潔干燥裝置的工作過程通常為：首先由上料機構(LUL System)從基板載臺(Cst)上獲取基板，并將基板傳送到基板清潔干燥裝置的工作腔室內，由與所述工作腔室相連的增壓泵(Booster Pump)將工作腔室抽真空，并將抽得的空氣過濾后再供應給出氣頭，出氣頭將氣體吹到工作腔室內的基板上，吹去基板上的雜質，以完成對基板的清潔干燥，現有技術中，基板清潔干燥裝置的自動控制系統(DDC PLCSystem)只能控制增壓泵的打開和關閉，而不能調節增壓泵的轉速，這就帶來一個問題，即基板清潔干燥裝置開始工作后，無論工作腔室內是否有基板，增壓泵都會維持100％的輸出，導致增壓泵的能耗大，使用壽命短，維護頻率高，增加了生產成本，降低了生產效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基板清潔干燥裝置，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

本發明的目的還在于提供一種基板清潔干燥裝置的節能方法，能夠降低基板清潔干燥裝置的能耗，延長基板清潔干燥裝置的使用壽命，減小維護頻率，降低生產成本，提升生產效率。

為實現上述目的，本發明提供了一種基板清潔干燥裝置，包括：上料機構、與所述上料機構相連的工作腔室、與所述工作腔室相連的增壓泵、與所述增壓泵相連的變頻器、與所述變頻器相連的中央處理器；

所述上料機構包括數個進料口，每一個進料口處均對應設有一與所述中央處理器相連的傳感器，所述傳感器提供感應信號給中央處理器，所述中央處理器根據傳感器提供的感應信號判定是否有基板進入進料口，并在有基板進入時通過變頻器控制增壓泵以正常轉速運轉，在沒有基板進入時通過變頻器控制增壓泵以低于正常轉速的轉速運轉。

還包括：對應所述上料機構設置的基板載臺，所述上料機構從所述基板載臺上獲取基板。

所述中央處理器為可編程邏輯控制器。

所述傳感器為光感傳感器。