[發明專利]一種動態可調配氣控制系統

在審

• 申請號: 201611065615.8
• 申請日: 2016-11-28
• 公開（公告）號: CN108121368A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 王麗艷
• 申請（專利權）人: 王麗艷
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種動態可調配氣控制系統，其特征是：所述控制系統中，比例閥作為調節氣體流量的執行機構，質量流量控制器作為氣路流量的檢測器件，用濃度檢測儀對從混氣室流出的氣體進行檢測，微控制器作為主要的控制系統，接受反饋數據，并通過比例閥對氣路的流量進行控制。

2.根據權利要求1所述的一種動態可調配氣控制系統，其特征是：所述整個配氣系統由兩條氣路組成，原料氣通過的為主氣路，稀釋氣體通過的為副氣路，在副氣路中，先用大工作氣流的比例閥進行調節，將原料氣稀釋到一個接近要求數值且穩定的狀態時，停止對大工作氣流比例閥的調節，轉入對小工作氣流比例閥的調節，這樣減小了系統滯后以及氣體濃度產生的波動范圍，這樣就減小了氣體濃度值帶來得影響，能更加精確地得到氣體要求濃度。

3.根據權利要求1所述的一種動態可調配氣控制系統，其特征是：所述控制系統利用PID控制器對系統進行控制，可使系統的型別提高一級，與PI控制器相比，PID控制器除了同樣具有提高系統的穩態性能的優點外，還多提供了一個負實零點，從而在提高系統動態性能方面，具有更大的優越性。