[發明專利]測試圖案、測試方法以及計算機實現方法

有效

• 申請號: 201611062754.5
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN107039402B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 黃盛昱;李鐘弦;姜旻秀
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 屈玉華

一種測試圖案包括：第一線圖案，設置在第一水平，具有通過第一間隔而間隔開的不連續的區域，具有第一寬度，并在第一方向上延伸。測試圖案還包括：設置在第二水平并在第一方向上延伸的連接線圖案；以及設置在第二水平、從連接線圖案分支、具有第二寬度并在垂直于第一方向的第二方向上延伸的多個第二線圖案。測試圖案還包括多個通路圖案，該多個通路圖案設置在第三水平、具有第三寬度并形成為至少部分地交疊具有第一線圖案的第一寬度和第二線圖案的第二寬度的交叉區域。第一焊盤與第一線圖案相連。第二焊盤與連接線圖案相連。

技術領域

本公開涉及測試圖案、用于半導體器件的測試方法以及用于設計集成電路布圖的計算機實現方法，更具體地，涉及用于具有測試圖案的半導體器件的測試方法。

背景技術

半導體后端工藝包括金屬互連工藝和通路工藝。也就是，通路被形成以將形成在下部的金屬互連與將要形成在上部的金屬互連連接。由于金屬互連工藝和通路工藝可能具有各種問題諸如設計誤差和處理中的誤差，所以金屬互連被彼此短路或彼此斷開，或者下部的金屬互連會不正確地與上部的金屬互連連接。這些故障降低半導體制造產率并增加制造成本。

發明內容

本公開描述了可在短時間內準確地檢測故障的測試圖案。

本公開還提供可在短時間內準確地檢測故障的用于半導體器件的測試方法。

本公開還提供用于設計集成電路的布圖的計算機實現方法，其可以在短時間內準確地檢測故障。

本公開不限于以上的目的，而是沒有在這里描述的其它目的可以從以下的描述而被本領域技術人員清楚地理解。

根據本公開的一方面，一種測試圖案包括：多個第一線圖案，設置在第一水平，具有通過第一間隔而間隔開的不連續的區域，具有第一寬度，并在第一方向上延伸。測試圖案還包括設置在第二水平并在第一方向上延伸的連接線圖案。多個第二線圖案設置在第二水平，從連接線圖案分支，具有第二寬度，并在垂直于第一方向的第二方向上延伸。多個通路圖案設置在第三水平，具有第三寬度，并形成為至少部分地交疊具有第一線圖案的第一寬度和第二線圖案的第二寬度的交叉區域。第一焊盤與第一線圖案相連，第二焊盤與連接線圖案相連。

根據本公開的另一個方面，第一線圖案的不連續的區域可以在第二方向上以相同的第一間隔或者以不同的第一間隔形成在相同的位置或者在不同的位置。

根據本公開的另一方面，第二線圖案可以在第二方向上延伸至相同的長度或者不同的長度。

根據本公開的另一個方面，每個第一線圖案可以具有與從第二線圖案當中選擇的至少一個第二線圖案的交叉區域。

根據本公開的另一個方面，交叉區域可以包括：具有第一線圖案的第一寬度的一部分和第二線圖案的第二寬度的一部分的交叉區域；和具有第一線圖案的第一寬度的全部和第二線圖案的第二寬度的全部的交叉區域。

根據本公開的另一方面，連接線圖案可以包括彼此面對并使第一線圖案插設在兩者之間的第一連接線圖案和第二連接線圖案。

根據本公開的另一個方面，第一線圖案當中的奇數編號的圖案可以形成第一組，第一線圖案當中的偶數編號的圖案可以形成第二組，第二線圖案當中的奇數編號的圖案可以從第一連接線圖案分支，第二線圖案當中的偶數編號的圖案可以從第二連接線圖案分支。

根據本公開的另一個方面，通路圖案可以形成為至少部分地交疊第一交叉區域和第二交叉區域，該第一交叉區域具有第一組的第一線圖案的第一寬度和從第一連接線圖案分支的第二線圖案的第二寬度，該第二交叉區域具有第二組的第一線圖案的第一寬度和從第二連接線圖案分支的第二線圖案的第二寬度。

根據本公開的另一方面，每個通路圖案可以具有垂直地匹配到第一交叉區域的中心或第二交叉區域的中心或者與第一交叉區域的中心或第二交叉區域的中心水平地分離的中心以便至少部分地交疊第一交叉區域或第二交叉區域。