[發(fā)明專利]粒子分析裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611062425.0
• 申請(qǐng)日: 2016-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107014723A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 長(zhǎng)谷川祥樹(shù);武田直希;小泉和裕;淺野貴正
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N15/06
• 分類號(hào): G01N15/06;G01N15/14
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 周全

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種粒子分析裝置。

背景技術(shù)

對(duì)于大氣中PM2.5等粒子的測(cè)量技術(shù)受到了關(guān)注。一直以來(lái)被熟知的有，基于試樣空氣中粒子散射的激光來(lái)測(cè)量粒子的數(shù)量以及大小的粒子測(cè)量裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。還被熟知的有，測(cè)量試樣氣體中不同成分的粒子含量的成分分析裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。還被熟知的有，測(cè)量含高濃度粒子的廢氣時(shí)，為了對(duì)應(yīng)廢氣的濃度擴(kuò)大測(cè)量范圍，利用稀釋空氣稀釋廢氣的測(cè)量裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)3)。在該測(cè)量裝置中，是將稀釋后的一部分廢氣導(dǎo)入測(cè)量裝置中，計(jì)算其中含有的粒子數(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：特開(kāi)2012-189483號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：國(guó)際公開(kāi)第2011/114587號(hào)

專利文獻(xiàn)3：國(guó)際公開(kāi)第2010/116959號(hào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

為了從多方面分析對(duì)象粒子，考慮使用包括粒子測(cè)量部和成分分析部的復(fù)合型粒子分析裝置。但是，如果對(duì)于粒子測(cè)量部和成分分析部，一律將試樣氣體稀釋進(jìn)行測(cè)量的話，粒子測(cè)量部和成分分析部的其中一個(gè)會(huì)出現(xiàn)檢測(cè)靈敏度降低的情況。因此，搭載粒子測(cè)量部和成分分析部的粒子分析裝置有時(shí)候很難在防止檢測(cè)靈敏度降低的同時(shí)，擴(kuò)大測(cè)量范圍。

解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案

本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種粒子分析裝置。粒子分析裝置可以包括粒子測(cè)量部、成分分析部、流路、第1調(diào)整部、第2調(diào)整部。粒子測(cè)量部可以基于試樣空氣中粒子所散射的激光，測(cè)量試樣氣體中粒子的數(shù)量或者濃度。成分分析部可以測(cè)量試樣氣體中不同成分的粒子的含量。流路的一端可以和試樣氣體源連接。在流路的另一端的分支點(diǎn)，可以分支為第1流路和第2流路。第1流路可以將試樣氣體導(dǎo)入粒子測(cè)量部。第2流路可以將試樣氣體導(dǎo)入成分分析部。第1調(diào)整部可以設(shè)置在第1流路。第1調(diào)整部可以利用稀釋氣體稀釋試樣氣體。第1調(diào)整部可以通過(guò)將稀釋后的試樣氣體導(dǎo)入粒子測(cè)量部，調(diào)整粒子測(cè)量部的測(cè)量范圍。第2調(diào)整部可以設(shè)置在第2流路。第2調(diào)整部可以調(diào)整將試樣氣體導(dǎo)入成分分析部的導(dǎo)入時(shí)間。

第1調(diào)整部可以包括稀釋氣體流路和稀釋氣體流量控制部。稀釋氣體流路的一端可以和稀釋氣體源連接。稀釋氣體流路的另一端可以和第1流路連接。稀釋氣體流量控制部可以設(shè)置在稀釋氣體流路。稀釋氣體流量控制部可以控制導(dǎo)入第1流路的稀釋氣體的流量。

粒子分析裝置可以包括廢氣流量控制部。廢氣流量控制部可以控制從粒子測(cè)量部排出的廢氣的流量。

粒子分析裝置可以包括稀釋率計(jì)算部和濃度計(jì)算部。稀釋率計(jì)算部可以基于稀釋氣體流量控制部中稀釋氣體的流量、廢氣流量控制部中廢氣的流量，計(jì)算稀釋率。濃度計(jì)算部可以基于粒子測(cè)量部的測(cè)量結(jié)果和稀釋率，計(jì)算未被稀釋的試樣氣體中粒子的濃度。

第2調(diào)整部可以包括試樣氣體流量控制部和流路開(kāi)閉部。試樣氣體流量控制部可以配置在第2流路。試樣氣體流量控制部可以控制試樣氣體的流量。流路開(kāi)閉部可以配置在第2流路。流路開(kāi)閉部可以切換打開(kāi)狀態(tài)和關(guān)閉狀態(tài)，來(lái)調(diào)整將試樣氣體導(dǎo)入成分分析部的導(dǎo)入時(shí)間。

粒子分析裝置可以包括導(dǎo)入量計(jì)算部。導(dǎo)入量計(jì)算部可以基于試樣氣體流量控制部中試樣氣體的流量、以及經(jīng)流路開(kāi)閉部調(diào)整后的將試樣氣體導(dǎo)入成分分析部的導(dǎo)入時(shí)間，計(jì)算將試樣氣體導(dǎo)入成分分析部的導(dǎo)入量。第2調(diào)整部可以調(diào)整流路開(kāi)閉部的打開(kāi)狀態(tài)的時(shí)間，來(lái)將試樣氣體的導(dǎo)入量控制在預(yù)先設(shè)定的范圍。

成分分析部可以包括粒子線生成部、捕捉體、能量線照射部、分析器。粒子線生成部可以射出試樣氣體中粒子的粒子線。捕捉體可以配置在粒子線射出的位置。捕捉體可以捕捉粒子線中的粒子。能量線照射部可以將能量線照射在捕捉體上。能量線照射部可以使捕捉體捕捉到的粒子氣化、升華或者反應(yīng)，來(lái)生成脫離成分。分析器可以分析脫離成分，來(lái)測(cè)量不同成分的粒子的含量。

粒子分析裝置可以包括旁路流路、旁路流量控制部、廢氣流路。旁路流路可以從第2流路分支出。旁路流量控制部可以設(shè)置在旁路流路中。旁路流量控制部可以控制旁路流路中流動(dòng)的試樣氣體的流量，使從試樣氣體源流入整個(gè)粒子分析裝置的試樣氣體的必要流量在預(yù)先設(shè)定的范圍。廢氣流路中可以供從粒子測(cè)量部排出的廢氣流動(dòng)。旁路流路可以和廢氣流路連接。

粒子測(cè)量部測(cè)量到的粒子的數(shù)量或者濃度越高，可以使試樣氣體的導(dǎo)入時(shí)間越短。

需要說(shuō)明的是，上述發(fā)明概要并未列舉本發(fā)明所需的全部特征。此外，這些特征群的亞組合也可成為發(fā)明。

附圖說(shuō)明