[發明專利]LDI內層對位方法及系統有效
| 申請號： | 201611062209.6 | 申請日： | 2016-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN106371298B | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發明（設計）人： | 張立 | 申請（專利權）人： | 天津津芯微電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 馬維麗 |
| 地址： | 300457 天津市濱海新區天津經濟技術開發區黃海路1*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | ldi 內層 對位 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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