[發(fā)明專利]一種可對(duì)中的晶圓傳遞裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611061303.X
• 申請(qǐng)日: 2016-11-25
• 公開（公告）號(hào): CN108109951A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫元斌;谷德君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：包括手臂本體(1)、柔軟型真空吸盤(3)及反射型光纖傳感器(4)，其中手臂本體(1)的前部分為中間臂(6)及位于該中間臂(6)兩側(cè)的分叉臂(7)，所述中間臂(6)及兩側(cè)的分叉臂(7)上均設(shè)有多個(gè)柱狀塊(2)，所述柔軟型真空吸盤(3)安裝在中間臂(6)上；所述中間臂(6)的后端及兩側(cè)分叉臂(7)的前端分別設(shè)有用于晶圓滑入對(duì)中的凸臺(tái)，各凸臺(tái)與晶圓的接觸面均為斜面，晶圓進(jìn)行手臂本體(1)后通過(guò)所述斜面及凸臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)中；所述反射型光纖傳感器(4)安裝于中間臂(6)的背面，通過(guò)中間臂(6)上開設(shè)的縫隙(11)照射激光到晶圓邊緣的背面，反射回來(lái)的激光再通過(guò)所述反射型光纖傳感器(4)檢測(cè)接收。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述手臂本體(1)呈Y形，兩側(cè)所述分叉臂(7)以手臂本體(1)的中心線為軸對(duì)稱設(shè)置，兩側(cè)所述分叉臂(7)上的柱狀塊(2)以手臂本體(1)的中心線為軸對(duì)稱布置，所述中間臂(6)上的柱狀塊(2)以手臂本體(1)的中心線為軸對(duì)稱布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述柱狀塊(2)為橢圓形柱體，嵌套在所述手臂本體(1)上的橢圓形孔槽內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述中間臂(6)后端的凸臺(tái)為凸臺(tái)B(9)，該凸臺(tái)B(9)為弧形；兩側(cè)所述分叉臂(7)前端的凸臺(tái)為凸臺(tái)A(8)，該凸臺(tái)A(8)為弧形，與所述凸臺(tái)B(9)位于同一圓上、形成圓弧形凹槽，所述凸臺(tái)A(8)與凸臺(tái)B(9)所在圓的直徑大于晶圓的外徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述中間臂(6)的前端設(shè)有真空通道，該真空通道內(nèi)安裝有所述柔軟型真空吸盤(3)，通過(guò)該柔軟型真空吸盤(3)配合所述反射型光纖傳感器(4)檢測(cè)晶圓在傳遞時(shí)的滑移或偏轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述柔軟型真空吸盤(3)的圓心位于手臂本體(1)的中心線上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可對(duì)中的晶圓傳遞裝置，其特征在于：所述中間臂(6)的背面設(shè)有凹槽(10)，所述反射型光纖傳感器(4)容置于該凹槽(10)內(nèi)，并通過(guò)傳感器壓板(5)固定于所述手臂本體(1)上。