[發明專利]光學測量裝置有效
| 申請號: | 201611059428.9 | 申請日: | 2016-11-25 |
| 公開(公告)號: | CN107063127B | 公開(公告)日: | 2020-06-30 |
| 發明(設計)人: | 森野久康;高島潤;的場賢一;早川雅之;藤原直樹;丸川真理子 | 申請(專利權)人: | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號: | G01B11/245 | 分類號: | G01B11/245;G01J3/10;G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司: | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 崔炳哲 |
| 地址: | 日本京都*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 測量 裝置 | ||
1.一種光學測量裝置,其中,具有:
光源,產生具有多個波長成分的照射光;
光學系統,對來自所述光源的照射光產生軸向色差,并且接收來自測量對象物的反射光,該測量對象物的至少一部分配置在光軸的延長線上;
受光部,包括分光器和檢測器,所述分光器將在所述光學系統接收的反射光分離為各個波長成分,所述檢測器中與所述分光器的分光方向對應地一維配置有多個受光元件;
導光部,包括將所述光學系統和所述受光部光學連接的多個纖芯,并且在鄰接的所述多個纖芯之間設置間隔來減輕鄰接的所述多個纖芯之間的串擾;以及
處理部,基于所述受光部的多個受光元件的各個檢測值,計算出從所述光學系統到所述測量對象物的距離;
所述導光部和所述受光部構成為,在從所述光學系統側向多個所述纖芯所包含的第一纖芯提供第一波長的第一光時,多個所述受光元件中入射該第一光的受光元件,與從所述光學系統側向多個所述纖芯所包含的第二纖芯提供第一波長的第二光時,多個所述受光元件中入射該第二光的受光元件的至少一部分共用,
所述光學系統構成為,使向所述受光部入射的光的截面形狀為沿所述多個受光元件的排列方向的長橢圓形。
2.根據權利要求1所述的光學測量裝置,其中,
與所述受光部光學連接的所述導光部配置成,該導光部所包含的多個所述纖芯的排列方向和與多個所述受光元件的排列方向正交的方向具有對應關系。
3.根據權利要求1所述的光學測量裝置,其中,
所述處理部一并獲取從多個所述纖芯分別照射的多個光向單一受光元件入射而生成的檢測值。
4.根據權利要求2所述的光學測量裝置,其中,
所述處理部一并獲取從多個所述纖芯分別照射的多個光向單一受光元件入射而生成的檢測值。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的光學測量裝置,其中,
所述受光部還包括縮小光學系統,所述縮小光學系統配置在到所述檢測器為止的光學路徑上,對在所述導光部所包含的多個纖芯中傳播并向所述受光部入射的、來自所述測量對象物的反射光的光點直徑進行縮小。
6.根據權利要求5所述的光學測量裝置,其中,
所述縮小光學系統構成為,在與所述檢測器的檢測面的縱橫比例對應的特定方向上更加大幅度地縮小來自所述測量對象物的反射光的光點直徑。
7.根據權利要求1至4中任一項所述的光學測量裝置,其中,還包括選擇部,所述選擇部能夠向所述導光部所包含的多個纖芯中的各個纖芯有選擇地提供來自所述光源的照射光,
所述處理部根據所述測量對象物的形狀,切換用于將照射光向所述測量對象物照射的纖芯。
8.根據權利要求1至4中任一項所述的光學測量裝置,其中,
從所述導光部向所述光學系統射出照射光的端面構成為,具有比所述導光部的纖芯和包層的界面的臨界角大的傾斜角。
9.根據權利要求1至4中任一項所述的光學測量裝置,其中,
所述導光部包括配置成卷繞棒狀構件的周圍的光纖。
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