[發明專利]一種光刻投影物鏡腔體精密監控裝置

在審

• 申請號: 201611058915.3
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN108107681A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 于淼;崔洋;李佩玥;彭吉;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，包括：

上位機，工控機，腔體環境控制單元，光刻投影物鏡，高純氣體供給源，高純供給回路，高純供給線路；

所述上位機與所述工控機相連，并可向所述工控機發送指令；

所述高純氣體供給源輸送至所述腔體環境控制單元中；

所述腔體環境控制單元與所述光刻投影物鏡之間通過高純供給回路和高純供給線路進行連接；

所述光刻投影物鏡上設置有傳感器，所述工控機與所述光刻投影物鏡之間通過傳感器進行信號反饋；

所述工控機與所述腔體環境控制單元之間通過控制信號相連接。

2.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述傳感器包括：相對式氣體壓力傳感器和絕對式氣體壓力傳感器。

3.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述腔體環境控制單元包括安全閥、初級減壓閥、精密減壓閥、換熱器、過濾器、氣體質量流控制器和純化器，高純氣體依次經過換熱器、過濾器、初級減壓閥、精密減壓閥、純化器、氣體質量流控制器和安全閥處理后經高純供給線路輸送到所述光刻投影物鏡的內部腔室中。

4.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述上位機與所述工控機之間通過遠程控制網絡進行連接。

5.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述工控機為嵌入式無風扇工控機。

6.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述所述工控機包括：高速背板，工控主板，環境采集卡，環境控制卡，冗余存儲，熱備供電模塊；

所述高速背板將所述工控主板，環境采集卡，環境控制卡，冗余存儲和熱備供電模塊以PCI/PCI-E總線形式進行串聯。

7.根據權利要求6所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述工控主板運行多級雙重PID閉環控制算法。

8.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述工控機與上位機之間通過自定義網絡協議幀格式通信。

9.根據權利要求1所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述工控主板、環境采集卡、環境控制卡通過自定義網絡協議幀格式通信。

10.根據權利要求8或9所述的光刻投影物鏡腔體精密監控裝置，其特征在于，所述自定義網絡協議幀格式包含設備號、通道號、命令號、數據個數、協議幀校驗和協議數據段部分。