[發明專利]一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置及制備方法在審
| 申請號： | 201611056334.6 | 申請日： | 2016-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN106587041A | 公開（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發明（設計）人： | 任天令;寧柯瑜;劉厚方;鞠鎮毅;程荊磊;楊軼 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | C01B32/198 | 分類號： | C01B32/198;C01B25/00;C01G41/00;C01B19/04;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y70/00;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 湯財寶 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 噴墨 打印 技術 薄膜 制備 裝置 方法 | ||
1.一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：其包括頂板(2)和對應于頂板(2)設置的底板(3)，所述頂板(2)的下端面安裝有面向所述底板(3)、由控制裝置(1)控制而移動位置的噴頭陣列(4)。
2.如權利要求1的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述頂板(2)的一側安裝有盛裝試劑的儲液盒(5)，所述試劑通過連接所述儲液盒(5)與噴頭陣列(4)的輸液管進入噴頭陣列(4)的噴頭(41)。
3.如權利要求2的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述噴頭(41)包括微型試劑儲存器和設置于所述微型試劑儲存器一端的噴嘴。
4.如權利要求3的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述噴頭(41)的微型試劑儲存器的側面設置有控制所述噴頭(41)噴射試劑的換能器。
5.如權利要求3的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述噴嘴的尺寸為20μm-30μm。
6.如權利要求2的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述輸液管上設置將所述儲液盒(5)中的試劑泵送至噴頭陣列(4)的試劑泵。
7.如權利要求1的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備裝置，其特征在于：所述底板(3)的上端面設置由所述控制裝置(1)控制的、且面向所述噴頭陣列(4)的可移動平臺(6)。
8.一種基于噴墨打印技術的薄膜制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、配置制備薄膜的試劑，并將該試劑裝入所述儲液盒(5)中；
S2、將基底固定放置于可移動平臺(6)上；
S3、根據預設的薄膜生長形狀，控制裝置(1)控制噴頭陣列(4)和可移動平臺(6)移動至合適的位置；
S4、儲液盒(5)中的試劑進入到噴頭陣列(4)中，控制裝置(1)控制噴頭陣列(4)的噴頭(41)，將試劑噴射至基底上，制備得到薄膜。
9.如權利要求8的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備方法，其特征在于，還包括步驟S5：控制噴頭陣列(4)中噴頭(41)的噴射試劑的次數，調整制備得到的薄膜的厚度。
10.如權利要求8的一種基于噴墨打印技術的薄膜制備方法，其特征在于，還包括步驟S6：將步驟S4中制備得到的薄膜進行加熱處理。
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