[發(fā)明專利]一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極及其VOA

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611055777.3
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN106444093B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬衛(wèi)東;徐曉輝;丁麗
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢光迅科技股份有限公司
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11340
• 代理人: 楊文錄

1.一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極，其特征在于:所述加熱電極設(shè)置于PLC波導(dǎo)的上包層上，該加熱電極采用兩個或者兩個以上相互間隔的子加熱電極組合而成，相鄰的子加熱電極之間采用導(dǎo)電功能的電極相連；所述加熱電極滿足如下條件：a1×A₁＝a2×L/2、a1×A_m＝a2×L/2、L＝A₁+A₂……+A_m、B≥2A×a1×ΔT；其中：L為加熱電極總長度、A為所有子加熱電極長度之和、m為子加熱電極的數(shù)量，B為每一段導(dǎo)電電極長度、a1為加熱電極材料的線性熱膨脹系數(shù)、a2為波導(dǎo)材料的線性熱膨脹系數(shù)、A1,A2,…,Am為第1個,第2個,…,第m個子加熱電極的長度、△T為加熱電極溫度的改變量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極，其特征在于：所述加熱電極采用電阻率為50～500nΩ·m的金屬或合金，所述導(dǎo)電電極采用電導(dǎo)率為60～110％IACS的金屬或合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極，其特征在于：所述加熱電極采用鈦、鎢、鉻、鉑之一或者任意組合；所述導(dǎo)電電極采用金、銅、鋁之一或者任意組合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極，其特征在于：所述導(dǎo)電電極采用一根導(dǎo)電電極，或者采用一根以上的導(dǎo)電電極相連組成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極，其特征在于：所述加熱電極與波導(dǎo)芯層的膨脹幅度相同。

6.應(yīng)用權(quán)利要求1所述一種用于光波導(dǎo)降低應(yīng)力的加熱電極的VOA，采用馬赫-曾德干涉儀結(jié)構(gòu)，包括輸入光波導(dǎo)(10)、上調(diào)制光波導(dǎo)(11)、下調(diào)制光波導(dǎo)(12)、輸出光波導(dǎo)(15)，其特征在于：上調(diào)制光波導(dǎo)(11)上設(shè)置有能夠降低光波導(dǎo)應(yīng)力的加熱電極，該加熱電極采用兩個或者兩個以上相互間隔的子加熱電極(13)串聯(lián)組合而成，相鄰的子加熱電極之間采用導(dǎo)電功能的導(dǎo)電電極(14)相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的VOA，其特征在于：所述子加熱電極(13)采用線性熱膨脹系數(shù)為8.2×10^-6/K的金屬薄膜鈦。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的VOA，其特征在于：所述加熱電極設(shè)計滿足如下條件：

a1×A₁＝a2×L/2、a1×A_m＝a2×L/2、L＝A₁+A₂……+A_m、B≥2A×a1×ΔT；其中：L為加熱電極總長度、A為所有子加熱電極長度之和、m為子加熱電極的數(shù)量，B為每一段導(dǎo)電電極長度、a1為加熱電極材料的線性熱膨脹系數(shù)、a2為波導(dǎo)材料的線性熱膨脹系數(shù)、A1,A2,…,Am為第1個,第2個,…,第m個子加熱電極的長度、△T為加熱電極溫度的改變量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的VOA，其特征在于：所述加熱電極長度L為6mm，加熱電極材料的線性膨脹系數(shù)a1為8.2×10^-6/K，波導(dǎo)材料的線性膨脹系數(shù)a2為0.55×10^-6/K；所述每一段導(dǎo)電電極長度B＝0.001mm，子加熱電極的數(shù)量m＝14，子加熱電極的長度A1＝A14＝0.201mm；A2,A3,…，A13的長度為0.466mm。