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[發明專利]一種通用版圖臨近效應表征模型及其提取方法有效

專利信息
申請號: 201611053506.4 申請日: 2016-11-25
公開(公告)號: CN106446476B 公開(公告)日: 2019-07-23
發明(設計)人: 張瑜;商干兵;俞柳江 申請(專利權)人: 上海華力微電子有限公司
主分類號: G06F17/50 分類號: G06F17/50
代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 通用 版圖 臨近 效應 表征 模型 及其 提取 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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