[發(fā)明專利]壓電器件、壓電模塊以及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611052699.1
• 申請日: 2016-11-24
• 公開（公告）號: CN106913356B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 清瀨攝內(nèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: A61B8/04
• 分類號: A61B8/04;A61B8/06;A61B8/00;H04R17/00
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 田喜慶;吳孟秋

1.一種壓電器件，其特征在于，具備：

元件基板，具有第一面和與所述第一面相反一側(cè)的第二面，并具有設(shè)于所述第一面的凹狀開口部和包圍所述凹狀開口部的支撐部；

壓電體，設(shè)于所述凹狀開口部的所述第二面；

多個連接電極，與所述壓電體連接，并從所述壓電體引出至所述支撐部的所述第二面；

加強板，與所述元件基板的所述第二面一側(cè)接合；以及

多個貫通電極，設(shè)于所述加強板的與所述支撐部相對的位置，在厚度方向上貫通所述加強板，并分別與所述多個連接電極連接，

由所述凹狀開口部和所述壓電體構(gòu)成元件部，

在從所述第一面和所述第二面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述元件部沿著第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向配置為陣列狀，

所述連接電極具備從所述壓電體沿著所述第一方向引出的第一連接電極和從所述壓電體沿著所述第二方向引出的第二連接電極。

2.一種壓電器件，其特征在于，具備：

元件基板，具有第一面和與所述第一面相反一側(cè)的第二面，并具有設(shè)于所述第一面的凹狀開口部和包圍所述凹狀開口部的支撐部；

壓電體，設(shè)于所述凹狀開口部的所述第二面；

多個連接電極，與所述壓電體連接，并從所述壓電體引出至所述支撐部的所述第二面；

加強板，與所述元件基板的所述第二面一側(cè)接合；以及

多個貫通電極，設(shè)于所述加強板的與所述支撐部相對的位置，在厚度方向上貫通所述加強板，并分別與所述多個連接電極連接，

由所述凹狀開口部和所述壓電體構(gòu)成元件部，

在從所述第一面和所述第二面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述元件部沿著第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向配置為陣列狀，

所述連接電極具備向所述壓電體的所述第一方向的一端側(cè)引出的第三連接電極和向所述壓電體的所述第一方向的另一端側(cè)引出的第四連接電極，

所述第三連接電極位于所述第二方向的一端側(cè)，所述第四連接電極位于所述第二方向的另一端側(cè)。

3.一種壓電器件，其特征在于，具備：

元件基板，具有第一面和與所述第一面相反一側(cè)的第二面，并具有設(shè)于所述第一面的凹狀開口部和包圍所述凹狀開口部的支撐部；

壓電體，設(shè)于所述凹狀開口部的所述第二面；

多個連接電極，與所述壓電體連接，并從所述壓電體引出至所述支撐部的所述第二面；

加強板，與所述元件基板的所述第二面一側(cè)接合；以及

多個貫通電極，設(shè)于所述加強板的與所述支撐部相對的位置，在厚度方向上貫通所述加強板，并分別與所述多個連接電極連接，

由所述凹狀開口部和所述壓電體構(gòu)成元件部，

在從所述第一面和所述第二面的法線方向觀察的俯視觀察中，所述元件部沿著第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向配置為陣列狀，

與多個所述元件部中的第一元件部連接的所述連接電極從所述壓電體沿著所述第一方向引出，

與和所述第一元件部相鄰的第二元件部連接的所述連接電極從所述壓電體沿著所述第二方向引出。

4.一種壓電模塊，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1～3中任一項所述的壓電器件和輸入輸出電路，

所述輸入輸出電路與所述貫通電極各自之間獨立地進行信號的輸入和輸出。

5.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1～3中任一項所述的壓電器件、輸入輸出電路和控制部，

所述輸入輸出電路與所述貫通電極各自之間獨立地進行信號的輸入和輸出，

所述控制部控制所述壓電體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子設(shè)備，其特征在于，

所述控制部執(zhí)行驅(qū)動所述壓電體來發(fā)送超聲波的超聲波發(fā)送處理和通過所述元件部接收超聲波的超聲波接收處理，并基于所述超聲波的發(fā)送接收定時來測定被測定物。