[發(fā)明專利]一種負(fù)壓環(huán)境下脈沖激光濺射沉積制備黑色二氧化鈦粉末的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611052072.6 | 申請日： | 2016-11-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106756788B | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 魏強(qiáng);盧紅;黃歡歡;張立憲 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C23C14/08 | 分類號(hào)： | C23C14/08;C23C14/28;C01G23/07;B01J21/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201 | 代理人： | 李麗萍 |
| 地址： | 300350 天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 黑色二氧化鈦 靶材 負(fù)壓環(huán)境 濺射沉積 脈沖激光 激光器 真空罐 薄膜 制備 白色二氧化鈦 壓強(qiáng) 反應(yīng)時(shí)間短 脈沖激光器 入射激光束 原材料費(fèi)用 粉末壓片 罐內(nèi)壓力 激光波長 激光聚焦 激光脈寬 激光能量 開啟脈沖 制備過程 輻照 抽真空 基底 | ||
1.一種負(fù)壓環(huán)境下脈沖激光濺射沉積制備黑色二氧化鈦粉末的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一、將原始的白色二氧化鈦粉末壓片，得到壓強(qiáng)為140～200Mpa的白色二氧化鈦靶材；
步驟二、將步驟一制得的白色二氧化鈦靶材置于真空罐，抽真空使真空罐內(nèi)壓力達(dá)到1×10-6-1×104Pa；調(diào)節(jié)脈沖激光器的入射激光束與所述白色二氧化鈦靶材之間的角度為10～45°，激光器的基片基底與所述白色二氧化鈦靶材的距離為15～50mm；開啟脈沖激光器，調(diào)節(jié)激光脈寬、激光能量、激光波長和頻率，激光聚焦輻照真空罐中的白色二氧化鈦靶材，靶材吸收激光能量迅速升溫氣化產(chǎn)生高溫等離子體，處理一定時(shí)間，在基片上得到黑色二氧化鈦薄膜，將黑色二氧化鈦薄膜上的黑色二氧化鈦刮下即得到黑色二氧化鈦粉末。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述負(fù)壓環(huán)境下脈沖激光濺射沉積制備黑色二氧化鈦粉末的方法，其特征在于，所述激光器的基片為耐高溫基片，耐溫不低于550℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述負(fù)壓環(huán)境下脈沖激光濺射沉積制備黑色二氧化鈦粉末的方法，其特征在于，所述激光脈寬為10ns-50ps，激光能量為450-1500mJ，激光波長為532-1064nm，頻率為5～20Hz；激光聚焦輻照白色二氧化鈦靶材每點(diǎn)處理時(shí)間為30～120s。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
